ULTRA

半导体級別图形发生器

The Semiconductor Laser Mask Writer

PSM 二次套刻解决方案

ULTRA特别是针对半导体产业生产掩膜版，是一款更经济，适合量产化的系统，并且具有高效产能，高精度和更好地均匀性，以及更高的对准系统。

ULTRA更是符合半导体科技产业需要的快速，而且有效结合有系统，进而量产的基本配备。

ULTRA*小线宽结构可做到500nm，根据写入速度，*快可达每分钟 325mm²或 580mm²，同时具备*的CD均匀性、高质量图像、多层套刻精度以及重复定位精度。

关于我们 - Stella International

Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司，共同为客户带来*的综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。

为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，

这些年来已服务许多的国内大学，研究与企业前期研发单位。

介绍

德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上，一直是*的。多年以来，系统设备持续地改良、在各种应用上客制化。

应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。

销售横跨欧洲、美国、亚洲等过50几个*、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的*伙伴。