DWL2000/ DWL4000

高灵活度与高精度光刻的解决方案

High Resolution Pattern Generators

高灵活度与高精度光刻的解决方案

DWL2000和DWL4000 激光光刻系统是快速及高灵活性的高分辨率图型发生器，用于制作掩膜版和可直接于产品上进行激光直写，

写入面积高达200x200 mm²,与400x400 mm² 。在二维曝光技术表现*，*低分辨率为500nm，可选配自动加载系统，

除了高分辨率的二維图型之外，还提供灰度曝光模式，可在厚光刻胶中创建复杂的2.5D结构。

产业应用：MEMS、BioMEMS，微光学、集成电路(ASIC)、微流体、传感器。

关于我们 - Stella International

Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司，共同为客户带来*的综合应用效能，同时建立紧密的合作伙伴关系。

为了服务客户更广泛多元的应用领域，Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心，以海德堡原厂伙伴技术支援，提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究，

这些年来已服务许多的国内大学，研究所与企业前期研发单位。

介绍

德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德国海德堡设备(Heidelberg Instruments)，创始于1984年，在激光直写设备的发展和设计上，一直是*的。多年以来，系统设备持续地改良、在各种应用上客制化。

应用范围包括：微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。

销售横跨欧洲、美国、亚洲等过50几个*、700个以上销售据点，用于研发、快速原型制作和工业生产系统，是企业研究和发展的*伙伴。