ULTRA特别是针对半导体产业生产掩膜版,是一款更经济,适合量产化的系统,并且具有高效产能,高精度和更好地均匀性,以及更高的对准系统。
ULTRA更是符合半导体科技产业需要的快速,而且有效结合所有系统,进而量产的基本配备。 ULTRA*小线宽结构可做到500nm,根据写入速度,*快可达每分钟 325mm2或 580mm2,同时具备*的CD均匀性、高质量图像、多层套刻精度以及重复定位精度。
关于我们 - Stella International
Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司,共同为客户带来*的综合应用效能,同时建立紧密的合作伙伴关系。
为了服务客户更广泛多元的应用领域,Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心,以海德堡原厂伙伴技术支援,提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究,
这些年来已服务许多的国内大学,研究所与企业前期研发单位。
介绍
德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备 HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德国海德堡设备(Heidelberg Instruments),创始于1984年,在激光直写设备的发展和设计上,一直是*的。多年以来,系统设备持续地改良、在各种应用上客制化。
应用范围包括:微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。
销售横跨欧洲、美国、亚洲等过50几个*、700个以上销售据点,用于研发、快速原型制作和工业生产系统,是企业研究和发展的*伙伴。
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ULTRA
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ULTRA特别是针对半导体产业生产掩膜版,是一款更经济,适合量产化的系统,并且具有高效产能,高精度和更好地均匀性,以及更高的对准系统。
ULTRA更是符合半导体科技产业需要的快速,而且有效结合所有系统,进而量产的基本配备。
ULTRA*小线宽结构可做到500nm,根据写入速度,*快可达每分钟 325mm2或 580mm2,同时具备*的CD均匀性、高质量图像、多层套刻精度以及重复定位精度。
关于我们 - Stella International
Stella International携手光刻技术领航者-海德堡仪器公司,共同为客户带来*的综合应用效能,同时建立紧密的合作伙伴关系。
为了服务客户更广泛多元的应用领域,Stella International于 2016年在苏州成立海德堡仪器演示中心,以海德堡原厂伙伴技术支援,提供客户技术交流平台以及各式前段打样的基础研究,
这些年来已服务许多的国内大学,研究所与企业前期研发单位。
介绍
德国海德堡 高精密无掩膜激光直写设备
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM
德国海德堡设备(Heidelberg Instruments),创始于1984年,在激光直写设备的发展和设计上,一直是*的。多年以来,系统设备持续地改良、在各种应用上客制化。
应用范围包括:微电脑和纳米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相关领域。
销售横跨欧洲、美国、亚洲等过50几个*、700个以上销售据点,用于研发、快速原型制作和工业生产系统,是企业研究和发展的*伙伴。