利用其他减压阀的外部先导压力，进行出口压力可变设定的空气压力操作的减压阀。
压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的减压阀。

• 无尘规格

• 因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。

• 歧管安装对应

• 歧管连接配管可能。

• 排气口装备

• 因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。

• 高精度

• 可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度控制。