项次

项目

具体参数

1

输出项目

相位差【nm】，轴方向【°】，相位差与应力换算（选配）【MPa】

2

测量波长

520nm

3

双折射测量范围

0-130nm

4

测量*小分辨率

0.001nm

5

测量重复精度

<1nm（西格玛）

6

视野尺寸

142x170um到3.5x4.2mm
(×2，×5，×10，×20，×50)

7

选配镜头视野

无

8

选配功能

实时解析软件，镜片解析软件，数据处理软件，实现外部控制