白光共聚焦显微镜OPTELICS HYBRID+

日本Lasertec以双共聚焦光学系为基础，搭载微分干涉观察，垂直白光干涉测定，相差干涉测定，反射分光膜厚测定等功能，通常多台设备才能完成的测试，仅需一台设备即可实现。

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OPTELICS HYBRID+ 简介：

日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦显微镜,将激光和白光源组合在一体,用于多功能高性能共聚显微镜.两组共焦光学器件与附加器件相结合,包括干涉仪,微分干涉对比观察和光谱反射膜厚度测量仪。

集6项功能于一体

应用：各种材料的观察和形状测量可以进行毫米级到纳米级的非接触、

非破坏性形状测量和观察。它可以处理广泛的工业领域中的各种样品。

工业领域：

半导体材料（Si、Sic、抗蚀剂）、器件、电子元件

MEMS、微制造零件、涂层材料

薄膜、有机/无机材料、光学元件、薄膜

生物领域：

微流道

导管、划痕等异物

可用于从研发领域接近量产的领域。

功能介绍：

白光共聚焦功能

宽视野观察提高效率

采用白光光源可以获取高清全彩图像，有助于观察。

激光共聚焦功

高倍率和高分辨观察

配备波长405nm的半导体激光器、无需预处理即可清晰采集纳米级精细结构，分辨率堪比电子显微镜。

铌酸锂 倍率：11000倍 半导体部件 倍率：3700倍

微分干涉功能

纳米级凹凸观察

共聚焦和微分干涉对比（DIC）的组合提供了样品细微缺陷的清晰化观察，可不受背面影响的情况下观察透明样品的正面

共聚焦观察 共聚焦微分干涉观察

垂直扫描白光干涉功能

毫米视野下的纳米级台阶高度测量

高度分布数据是通过获取白光和双光干涉物镜在光轴方向扫描时产生的干涉条纹强度峰值处的z-scale值来计算的。该方法适用于宽视场测量，因为理论上在任何放大倍数的物镜下都具有相同的高度测量分辨率。

1.5mm视野下44nm的测量 数um高度下10nm-100nm高度测量

相移干涉测量功能

埃米级台阶高度测量

由于单波长光和两光束干涉物镜产生的干涉条纹是基于样品表面的光程差分布，因此通过相位信息分析使用四个
相对于光轴不同位置的干涉条纹图像来计算高度分布数据。

反射光膜厚测量功能

纳米级透明膜厚测量

使用波长选择功能测量6个波长的*反射率，使用光学模型拟合计算膜厚。可以测量几纳米到1微米的单层/多层膜厚。由于测量区域是根据共焦观察图像的，因此可以计算亚微米微小区域到几毫米整个视场的平均膜厚。此外，由于可以测量每个像素的膜厚，因此可以测量膜厚分布。

规格参数：