功能 |
多路气体配气仪,动态配气稀释仪 |
基本型号 |
MIH1000系列 |
气量范围 |
0~200SLM(可在此范围内任意定制) |
稀释配比范围 |
1ppm到 |
流量单位 |
SCCM (标准毫升/分) SLM(标准升/分) |
精度误差 |
±1%F.S.(可定制更高) |
工作压差范围 |
0.1~0.5MPa |
大耐压 |
3MPa(可定制更高) |
漏率 |
≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
响应时间 |
≤2 sec |
输出信号 |
标准RS485.RS232(可选) |
介质输入温度 |
5~45℃ |
工作环境温度 |
5~45℃ |
工作环境湿度 |
<80RH |
供电电源 |
220VAC±10,50Hz |
介质接触材质 |
氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封型 |
接头尺寸 |
Swagelok 1/8,1/4,3/8,1/2或φ3,φ6,φ8φ10,φ12 |
显示方式 |
电脑/触摸屏/仪表 |
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