价格
电议
型号
C50M
品牌
迈测仪器
所在地
北京市 通县
更新时间
2019-03-25 23:30:01
浏览次数
次
C50型气体质量流量控制器和C50M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。
本型号产品的满量程可以在 5SCCM到 30SLM的范围内任意定制，性能，价格适中。
±1％F.S.的准确度
±0.2％F.S.的高重复精度
响应时间快
稳定性和可靠性高
满量程可以在 5SCCM到 30SLM的范围内任意定制
可应用于大多数腐蚀性气体
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安装尺寸国际兼容
真空镀膜设备
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气体：氮气(N2)
温度和压力： 温度—273.15 K（0℃）
气压—101325 Pa（760mm Hg）
主要技术参数
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基本型号 |
C50 |
C50M |
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流量规格 eq oac(○,1)1(N2) |
0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM |
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0～1,2,3,5,10,20,30 SLM |
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调节阀类型 |
常闭式 |
无 |
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量程比 |
(2～100)％F.S. 或50:1 |
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流量分辨率 |
0.1％F.S. |
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准确度 |
±1％F.S. (≤15SLM) |
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±2％F.S. (＞15SLM) |
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线性 |
±0.5％F.S. (≤15SLM) |
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±2％F.S. (＞15SLM) |
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重复精度 |
±0.2％F.S. |
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响应时间 |
≤2sec |
≤1sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5MPa (≤10SLM) |
0.02MPa～3MPa |
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0.1～0.3MPa (＞10SLM) |
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大耐压 |
3MPa |
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工作环境温度 |
5～45℃ |
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电缆接头 |
DB15pin(针形) |
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输入输出信号 |
0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA) |
0～+5.00V (无输入信号，输出电流不大于3mA) |
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供电电源要求 |
+15VDC(50mA),-15VDC(200mA) |
+15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
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对外单点泄漏率 |
≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
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介质接触材质 |
316，316L，密封填料 |
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密封材料 |
丁腈橡胶NBR，三元乙丙橡胶EPDM，氯丁橡胶CR，硅橡胶VMQ, |
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管道接头尺寸 |
VCR型接头：1/4” |
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双卡套型接头：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm |
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外形尺寸 |
长×宽×高：127×30×100 mm |
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净重量 |
0.88kg |
0.72kg |
注 eq oac(○,1)1：满量程流量不限于表中列出的流量规格，可以在5SCCM～30SLM范围内任选，例如123SCCM。
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