集成电路ic等离子表面处理机技术：诚峰智造

真空式等离子处理系统CRF-VPO-8L-S

名称（Name）

真空式等离子处理系统

型号（Model）

CRF-VPO-8L-S

控制系统（Control system）

PLC+触摸屏

电源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,3kw

中频电源功率（MF Power）

600W/13.56MHz

容量（Volume）

80L（Option）

层数（Electrode of plies）

8（Option）

有效处理面积（Area）

400（L）*300（W）（Option）

气体通道（Gas）

两路工作气体可选： Ar、N2、CF4、O2

产品特点：大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，有效控制设备运行。

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。

保养维修成本低，便于客户成本控制。

高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和*的技术支持。

应用范围：主要适用于生物医疗行业，印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

采用真空电浆清洗机处理线路板的工艺、时间和处理方案可以节约成本，通过射频电源在一定压力下对表面进行升辉，从而产生高能等离体，然后对表面进行等离子轰击，产生微观上剥离效应。
将等离子体用于线路板(FPC/PCB)预粘接前的表面清洗。一般情况下，线路板下游客户会对产品进行来料检验，例如打线检验、拉力检验等等，而当产品表面未清洗时，往往会出现某些污染，导致检验不合格。为了避免上述问题，在焊接打线之前进行表面等离子清洗，在这个追求高质量的年代已经成为一种趋势。
利用射频电源在一定压力下在真空电浆清洗机真空腔内产生高能等离体，然后利用等离子体轰击加工对象面，产生显微上剥离效应(调整等离子轰击时间可调整剥离深度，等离子的作用是纳米级的，因此不会损伤加工物体)，从而达到作业目的。
板材产品要求：
1、产品材质：FPC，上部有粘黄胶；
2、达因值达34↑；
3、处理时效性达到1周↑；
4、采用吸塑盒子进行出货前处理，吸塑盒子应无静电及变形等不良现象。
经等离子处理的线路板的效果：
1、处理前达因值：32达因笔↓，处理后达因笔达到70↑；
2、处理前接触角度达到80度，处理后接触角度达到10度；
3处理时间：60S(时间可以重新优化)；
4、气体：氧气。

产品时效影响因素：
由于真空电浆清洗机等离子处理有化学和物理变化的特点。物理化学变化，是指材料表面改性、蚀刻后表面突起增大，表面积增大。如暴露于受污染的空气中，与灰尘、油污、杂质混合，表面能量会逐渐降低。等离子处理时，化学变化会引入含氧极性的基团，如羟基、羧基等，这些活性分子具有时效性，易与其他物质发生化学变化，处理后表面能保留的时间很难确定。气体、功率、处理时间、放置环境等因素对材料表面时效性均有影响。清洁FPC产品后验证的时间为：1周(通过接触角测量数据确认，接触角值越小，达因值越高)