美国MKS*电容压力计   MKS  622/623/626系列*电容压力计

美国MKS*电容压力计   MKS  622/623/626系列*电容压力计环境温度的电容式压力计是*MKS模拟符合RoHS标准，基于电容的，高性能的真空压力传感器。它需要±15伏直流输入电压，提供一个高层次的0-10VDC模拟输出信号为线性的压力。这一模拟输出可与MKS压力控制器接口，一个MKS电源/显示仪表，或任何满足这些要求的仪器。在真空/压力的变化是通过测量传感器的膜片和相邻电极盘之间的电容变化确定。电容的变化转换为的信号调理电路可用的输出。径向张Inconel®膜片的传感器提供了非常快的响应（＜20毫秒在许多情况下），低滞后，重复性好，非常高的分辨率（0.001%满刻度），非常高的耐腐蚀性，和双壁结构焊接操作者的安全。传感器本身能承受反复暴露于45 psia（3.1杆）没有*的降解或转换，允许它在几乎任何系统的操作过程。

The 626C Baratron® capacitance manometer operates at ambient conditions. It is available in Full Scale pressure/vacuum ranges from 0.1 to 1000 Torr (and metric equivalents) and is suited for many industrial electronic and research applications. The 626C has a 15-Pin D-Subminiature Electrical Connector.

626c®电容压力计在环境条件。它可以在全压力/真空范围从0.1到1000乇（公制当量），适用于许多工业，电子，和研究中的应用。该626c有一个15引脚小型电连接器。

美国MKS*电容压力计   MKS  622/623/626系列*电容压力计Features & Benefits:特点和优点：

•Specified in percent of reading for best accuracy and improved process yield

•的阅读率和*精度改进工艺收率

•Direct measurement of chamber total pressure independent of gas type or composition eliminates lookup tables and conversion factors

室内压独立的气体的类型或组成•直接测量，消除了查找表和转换因子

•Long-term output stability for state-of-the-art process repeatability

•长期输出稳定的*的*的工艺过程的重复性

•Inconel® and Incoloy® nickel alloy construction of basic sensor operates without damage in virtually any chemical environment including halogens deionized water and steam and ozone

•Inconel®和镍合金Incoloy建设基本传感器的工作没有任何的化学环境，损害了卤素，去离子水和蒸汽，和臭氧

•High overpressure limit ensures reliability during system mishaps

•高过压极限保证可靠性在系统事故

美国MKS*电容压力计   MKS  622/623/626系列*电容压力计Applications:应用：

The 626C is suited for many industrial electronic and research applications. The sensor itself can withstand repeated exposures to 45 psia (3.1 bar) without permanent degradation or shifting allowing it to operate in virtually any process system.

该626c适用于许多工业，电子，和研究中的应用。传感器本身能承受反复暴露于45 psia没有*的降解或转换，允许它在几乎任何系统的操作过程。

690A系列

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590A系列

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698A系列

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698A13TRD

615A系列

615A.1TRC 615A.1TRCE 615A01TRC 615A01TRE 615A11TRC 615A11TRE 615A12TRC 615A12TRE 615A13TRC 615A13TRE 615A53TRC 615A53TRE 615A14TRC 615A14TRE 615ARBTRC 615ARBTRE 615A24TRC 615A24TRE 615ARCTRC 615ARCTRE

616A系列

616A.1TRC 616A.1TRCE 616A01TRC 616A01TRE 616A11TRC 616A11TRE 616A12TRC 616A12TRE 616A13TRC 616A13TRE 616A53TRC 616A53TRE 616A14TRC 616A14TRE 616ARBTRC 616ARBTRE 616A24TRC 616A24TRE 616ARCTRC 616ARCTRE

MKS真空压力计美国MKS真空计MKS真空压力计MKS薄膜真空计MKS压力传感器MKS压力开关MKS流量计622B系列622B21TAD622B21TAF622B21TBE622B21TBD622B21TBF622B21TCE622B21TCD622B21TCF622B21TDE622B21TDD622B21TDF622B21TEE622B21TED622B21TEF622B21TQE622B21TQD622B21TQF622B12TAE622B12TAD622B12TAF622B12TBE622B12TBD622B12TBF622B12TCE622B12TCD622B12TCF622B12T

MKS薄膜真空计626B系列

626B.1TAE 626B.1TAD 626B.1TAF 626B.1TBE 626B.1TBD 626B.1TBF 626B.1TCE 626B.1TCD 626B.1TCF 626B.1TDE 626B.1TDD 626B.1TDF 626B.1TEE 626B.1TED 626B.1TEF 626B.1TQE 626B.1TQD 626B.1TQF 626BRETAE 626BRETAD 626BRETAF 626BRETBE 626BRETBD 626BRETBF 626BRETCE 626BRETCD 626BRETCF 626BRETDE 626BRETDD 626BRETDF 626BRETEE 626BRETED 626BRETEF 626BRETQE 626BRETQD 626BRETQF 626B01TAE 626B01TAD 626B01TAF 626B01TBE 626B01TBD 626B01TBF 626B01TCE 626B01TCD 626B01TCF 626B01TDE 626B01TDD 626B01TDF 626B01TEE 626B01TED 626B01TEF 626B01TQE 626B01TQD 626B01TQF 626B02TAE 626B02TAD 626B02TAF 626B02TBE 626B02TBD 626B02TBF 626B02TCE 626B02TCD 626B02TCF 626B02TDE 626B02TDD 626B02TDF 626B02TEE 626B02TED 626B02TEF 626B02TQE 626B02TQD 626B02TQF 626B11TAE 626B11TAD 626B11TAF 626B11TBE 626B11TBD 626B11TBF 626B11TCE 626B11TCD 626B11TCF 626B11TDE 626B11TDD 626B11TDF 626B11TEE 626B11TED 626B11TEF 626B11TQE 626B11TQD 626B11TQF 626B21TAE 626B21TAD 626B21TAF 626B21TBE 626B21TBD 626B21TBF 626B21TCE 626B21TCD 626B21TCF 626B21TDE 626B21TDD 626B21TDF 626B21TEE 626B21TED 626B21TEF 626B21TQE 626B21TQD 626B21TQF 626B12TAE 626B12TAD 626B12TAF 626B12TBE 626B12TBD 626B12TBF 626B12TCE 626B12TCD 626B12TCF 626B12TDE 626B12TDD 626B12TDF 626B12TEE 626B12TED 626B12TEF 626B12TQE 626B12TQD 626B12TQF 626B52TAE 626B52TAD 626B52TAF 626B52TBE 626B52TBD 626B52TBF 626B52TCE 626B52TCD 626B52TCF 626B52TDE 626B52TDD 626B52TDF 626B52TEE 626B52TED 626B52TEF 626B52TQE 626B52TQD 626B52TQF 626B13TAE 626B13TAD 626B13TAF 626B13TBE 626B13TBD 626B13TBF 626B13TCE 626B13TCD 626B13TCF 626B13TDE 626B13TDD 626B13TDF 626B13TEE 626B13TED 626B13TEF 626B13TQE 626B13TQD 626B13TQF

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