ECLIPSE L300ND金相显微镜 300mm硅片或17″FPD检测,拥有CFI60光学系统用于集成电路检查显微镜,由此获得全所未有的高对比图像。物镜齐聚焦为60mm可以兼顾高数值孔径和长工作距离:符合SEMI S293A,S8-95S设计;利用计算机辅助工程系统,对机身进行防震设计;具有全面的防污染措施。
科学研究分析,材料分析,微电子观察,TFT 液晶检查,17寸FPD检查,300mm硅片检查。
◆倍率:25×-1500×(明暗场可以选择)
◆反射照明部,12V50W卤素灯,孔径光阑(电动,可调心)视场光阑(固定带对焦
目标) 可插入小孔光阑滑块(OPTION) ,可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4)、 起偏器/检偏器
透射照明部 :12W50W高亮度卤素灯照明装置,内置孔径光阑,内置LWD聚光器
◆ 14x12载物台、行程354mmx302mm(透射观察范围:354mmx268mm)
◆对焦行程29mm,粗调12.7mm/转,微调0.1mm/转(以um为单位)
◆观察方法明暗场、微分干涉、简易偏光,反射荧光
◆电动物镜6孔物镜转换、孔径调节、光亮调节
◆可以附加NIKON *数码相机及CCD影像扩展
◆可以附加*金相测量软件实现电脑测量
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