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美国CASCADE-日本IWATSU ON-WAFER 功率半导体SIC/IGBT 探针台测试系统

产品简介：

CASCADE-IWATSU Tesla 是业界*功率器件测量系统，它提供了一款用于在高达 400A的电流和 3000V 的电压条件下进行功率半导体的过热、低接触电阻测量的完整晶圆上解决方案。该新系统采用了两款*晶圆探针和一种全新的晶圆吸盘技术。

Tesla 解决了薄晶圆、功耗以及电流/电压要求的难题

• 高电流参数（HCP）探针专为满足 Rds(on) 测量要求而设计。的设计*限度地抑制了探针至晶圆触点上的热失控，并支持高达 10A（在连续模式中）和高达 60A（在脉动模式中）的电流。
• 高电压参数（HVP）探针在高达 3000V 的电压条件下实现了漏电流低至 1pA 的击穿电压测量。
• Exclusive Vacuchannel™ 吸盘技术运用针对薄晶圆（薄至 100μm）的*传送方法满足了当今功率器件晶圆的需要。此外，Vacuchannel 技术传送功率耗散器件的方式也不同于市面上现有的其他解决方案，实现了功耗高达 75W 的器件的晶圆上测量。