TCS208F气体热导传感器,是采用的MEMS工艺加工技术制备的新一代传感器件,具有小型化、集成化的特点,可以极大地提供传感器性能。TCS208F可以测天然气、H2、CO2、CO、SF6、Xe、He、NH3等成分或含量,也可测量非常小的气体容积变化,TCS208F成本低、功耗低、温度低,时间常数小,TO8封装,抗冲击能力强。
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TCS208F气体热导传感器,是采用的MEMS工艺加工技术制备的新一代传感器件,具有小型化、集成化的特点,可以极大地提供传感器性能。TCS208F可以测天然气、H2、CO2、CO、SF6、Xe、He、NH3等成分或含量,也可测量非常小的气体容积变化,TCS208F成本低、功耗低、温度低,时间常数小,TO8封装,抗冲击能力强。
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