日本原装HORIBA堀场数字质量流量控制器型号，配备多量程/多气体功能，允许用户更改气体类型和流量范围。

实现了±1.0%SP的高精度、全量程1秒内的高速响应、5SCCM至500SLM的宽量程。通信方式可从数字/模拟、DeviceNet™、EtherCAT®通信中选择。这是一款不仅适用于*工艺，也适用于各种制造工艺的质量流量控制器。

HORIBA 为半导体制造工艺、研发、质量控制以及从纯水到废水的公用事业中的干法、湿法和光刻工艺提供广泛的产品。我们将根据多年经验积累的分析、测量和控制技术提供解决方案。

数字质量流量控制器　

它是适用于各种行业和应用的通用型数字质量流量控制器，具有从 10 SCCM 到 1000 SLM 的宽流量控制范围，并且可以从数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link® 中选择通信方式、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。具有±1.0% SP的高精度，全量程1秒内快速响应，多量程/多气体功能。　

业务部门：半导体

产品类别：流体控制