日本SMC缝阀XGT223-46236-1F

XGT 系列 缝阀

对于半导体装置等场合、适合于负载锁定室和传送室以及传送室和过程室之间有门阀隔开的场合

阀尺寸 22 轴数:2轴　波纹管;对应晶片尺寸:200mm

阀体形式 3 盒式半屏蔽型

开口窗尺寸 46236 高X宽:46X236mm;对应晶片尺寸:200mm

门O型圈材质 1 FKM

磁性开关及插头 F 磁性开关:D-A93(带2个开关);插头:带D型辅助插头(CDE-9PF05:广濑电机制)

NPQS-F-L-R12-Q12

NPQS-F-LH-R14-Q8

NPQS-F-L-R38-Q8

NPQS-F-L-R14-Q10

NPQS-F-L-R18-Q8

NPQS-F-L-Q10-E

NPQS-F-H-Q10-E

NPQS-F-H-Q8-E

快插接头 QS-G1/2-12

快插接头 QS-8-10

快插接头 QS-3/8-6

气源管 PUN-12*2 B

快插接头 QS-G1/8-8

快插接头 QS-3/8-8

快插接头 QS-6

气源管 PUN-10*1.5-BL

快插接头 QS-1/2-10

快插接头 QS-G1/2-12

快插接头 QS-10-12

快插接头 QS-G1/4-12

快插接头 QS-3/8-10

快插接头 QS-G1/4-10

快插接头 QS-8

快插接头 QS-6-8

快插接头 QS-8-10

快插接头 QS-3/8-12

快插接头 QS-6-10

MU-N11

SL-V28H

FT-H10C