NEW 阻抗分析仪ZA57630
从电子零件、半导体器件到材料的特性评价，应对多样的阻抗测量需求
基本精度 ±0.08%
频率范围 10 µHz～36 MHz
阻抗范围 10 µΩ～100 GΩ  (模式: IMPD-EXT)
阻抗分析仪

NEW  阻抗分析仪ZA57630
“True Value”
测量真正的特性。

ZA57630
▲ ZA57630

 

从电子零件、半导体器件到材料的特性评价，应对多样的阻抗测量需求    
 

 

基本精度

频率范围

阻抗范围

测量 AC 信号级别
 

DC 偏置
 

测量时间

测量参数
 
±0.08%
10 µHz～36 MHz
10 µΩ～100 GΩ (模式: IMPD-EXT)
0.01 mVrms～3 Vrms
0.1 µArms～60 mArms
−5 V ～ +5 V/−40 V ～ +40 V (1 kHz以上)
100 mA ～ +100 mA
0.5 ms/point
Z, R, X, Y, G, B, Ls, Lp, Cs, Cp, Rs, Rp, θz, θy, D, Dε, Dµ, 
Q, V, I, εs, εs’, εs”,µs, µs’, µs”, FREQUENCY
 快速测量  业界*快 0.5 ms/point
实现了业界*快的0.5ms/point。
缩短生产线的节拍时间，提高测量作业的效率。
此外，通过增加设定的测量时间，使测量结果平均化，减轻噪声的影响。可视需要选择*合适的测量时间。img01
 4种测量模式  应对广泛的DUT

IMPD-3T
   标准测量模式
本模式可以在广泛的频率范围内进行高精度测量。可使用测试线及测试夹具，应对各种形状的试样。img02
 

IMPD-2T
   高频测量模式
本模式可以在 10MHz 以上的高频下进行稳定的测量。使用 N 型连接器进行 2 端子测量，即便配线长，也可以进行稳定的测量。img03
 

IMPD-EXT
  外部扩展测量模式
本模式为外部连接放大器或分流电阻等物进行测量。
可以通过施加高压信号或检测微小电压 / 电流进行单独使用本仪器无法应对的测量。img04
 

G-PH
   增益/相位测量模式
本模式可以测量滤波器、放大器等的传输特性。向被测电路施加扫描信号，高精度地测量其频率响应（增益、相位）。img05
 
 正面面板测量端子
阻抗分析仪

NEW  阻抗分析仪ZA57630
特点
结合用途配备丰富的功能！
以*适合DUT特性的设定，支持高重现性且准确的测量。
准确的评价基于实际使用的操作条件。

电子零件、电子材料可能因测量频率及施加的信号级别而表现出不同的特性。电容器和电感器存在因寄生成分引发的频率依赖性，二极管等半导体器件由于 DC 偏置叠加而产生特性变化。
要评价真实的特性，重要的是频率、AC 振幅和 DC 偏置的扫频，在实际的操作条件下进行测量。


特点
扫频
延迟功能
标记操作
测量条件等的设定
自动高密度扫频
顺序测量
量程
误差校正
图表显示
 
丰富的功能
共振点跟踪测量
相对介电常数测量
外部基准时钟
等效电路估算
相对导磁率测量
存储器操作
压电常数计算
比较器 / 处理器接口
 

 扫频   频率、AC 振幅、DC 偏置、零频宽

AC 振幅扫描
AC amplitude sweep

扫频
Frequency sweep

DC 偏置扫频
DC bias sweep

零频宽
不变更频率、AC 振幅和 DC 偏置的参数，按恒定的条件进行测量，观察不同时间的特性变化（横轴：时间）
 

也能应对点测

按恒定的频率 /AC 振幅 /DC偏置进行测量，以数值显示测量结果。*多可以设定 6 个项目。
与比较器功能组合，可以进行筛选及判定是否合格。Also capable of spot measurements
生产线内的测量
 

 

 测量条件等的设定
在 1 个界面内直观地进行详细设定


设定项目（SETTING VIEW）
Setting items (SETTING VIEW)

设定图表轴
Graph axis setting

设定频率
Frequency settings
 

 

 量程

自动量程
监视测量结果，同时自动设定*合适的量程进行测量。
检测到过量程的外部噪声或直流分量时，重新设定为更大的量程并重新测量。测量数据的变化大时启用。

固定量程
量程固定，因此不会产生因量程变化引发的测量值不连续（段差）。
 

 

 延迟功能
如果在扫描过程中变更了频率、AC 振幅等扫描参数，则瞬态响应将导致测量结果出现误差。参数变更后，可以延迟开始测量的时间。延迟包括“延迟开始测量”和“延迟测量”，前者在开始测量时延迟，后者在扫描过程中每次变更参数时延迟。
 

 

 自动高密度扫频
在扫频测量中，本功能限定在测量数据突变的区间自动提高频率密度进行测量。
在压电振荡器、晶体振荡器等的共振特性测量中，本功能在相位急剧变化的共振附近的测量中启用。
 

 

 误差校正
为进行准确的评价，需根据测量误差因子进行校正。

 

为进行准确的测量，需适当校正残余阻抗、电缆长度等各种测量误差因子。

开路校正
减少因残余导纳引起的误差

短路校正
减少因残余阻抗引起的误差

负载校正
以具有已知值的试样作为标准阻抗，校正与真值的偏差

端口延长
使用长电缆时，校正因传输延迟时间而产生的相位误差

电位梯度消除
消除测量信号所含的电位波动波形的影响。在由于电池等的充放电会引起电位变化的试样的测量中启用

补偿
预先测量连接到外部的传感器、电缆等测量系统的频率特性，校正测量系统的误差成分

输入加权码
校正探头的衰减量及前置放大器的增益

自行校准
校正自身误差
 

 

 标记操作
本功能用于读取所显示的图表中 X、Y1、Y2 的测量值。
*多可使用 8 个标记。

Δ标记 显示与基准标记（标记 1）的差异

ΔTRKG 标记
与Δ标记同样显示差异，移动到标记 1 时，保持恒定的扫描值差异，同时进行移动

标记搜索功能
可自动搜索与设定条件一致的点Marker search function
 

 

 顺序测量
本功能预先设定多项所需的测量条件，按照该条件依次进行测量。*多可将扫描范围分割成 32 部分，各范围内按照不同的测量条件进行测量。
可高效地测量因电压值而使特性发生变化的多层陶瓷电容器（MLCC）、电感器及变压器等器件。
 

 

 图表显示

SINGLE 显示 /SPLIT 显示
可选择在 1 个画面内显示 1 个图表的“SINGLE”和上下显示 2 个图表的“SPLIT”

相位显示操作
±180°、0°～＋360°、－360°～0°、UNWRAP（连续显示）、 360°移位、孔径（群延迟特性）

迹线操作
可改写测量数据迹线（MEAS）和*多 8 条参照数据迹线（REF）

自动存储
本功能在扫描测量结束后自动将 MEAS 迹线复制到 REF 迹线中。在随时间而变化的特性观测中启用。
SPLIT 显示

SPLIT display
自动存储

Auto store
 

 

 共振点跟踪测量
本功能在测量具有共振的试样时，使测量频率自动跟踪试样的共振频率。 即使试样具有振幅依赖性或共振频率随时间变化而波动，也可以始终进行与共振频率一致的测量。本功能便于在压电元件的共振点附近进行连续测量。
RESONANT FREQUENCY TRACKING FUNCTION
共振频率变化（1.6 kHz→1.5858 kHz）、自动跟踪
 

 

 等效电路估算
本功能将扫频测量获得的阻抗特性应用于等效电路模型，从而求出LCR 元件的值（电感值、电容值、电阻值）。准备有以下 6 种模型。等效电路估算结果可以用 CSV 格式保存。
 等效电路模型
Equivalent circuit model
 

Equivalent circuit model
 

 

 压电常数计算
本功能测量压电陶瓷的频率 - 阻抗特性，并计算机电耦合系数和压电常数等。按照 JEITA 标准《EM-4501A 压电陶瓷振荡器的电气试验方法》规定的方法计算参数。
 测量结果显示
Measurement results
 常数计算画面
Constant calculation
 

 

 相对介电常数测量
可以预先设定试样尺寸等信息，将阻抗测量结果（Cp，Rp）换算为复相对介电常数进行显示。
相对介电常数 εs

相对介电常数实部 εs’

相对介电常数虚部 εs”

损耗率 Dε

 εs’−εs”
RELATIVE PERMITTIVITY MEASUREMENT
 εs−Dε
RELATIVE PERMITTIVITY MEASUREMENT
 

 

 相对导磁率测量
可以预先设定试样尺寸等信息，将阻抗测量结果（Ls, Rs）换算为复相对导磁率进行显示。
相对导磁率µs

相对导磁率实部 µs’

相对导磁率虚部 µs”

损耗率 Dµ

 µs’−µs”
RELATIVE MAGNETIC PERMEABILITY MEASUREMENT
 µs−Dµ
RELATIVE MAGNETIC PERMEABILITY MEASUREMENT
 

 

 比较器 / 处理器接口  用于生产线!
测量速度 *快 0.5 ms/point，缩短了节拍时间，
并进一步完善了零件筛选功能!!

 

比较器功能针对测量结果预先设定判定范围，为筛选试样而进行分类以及判定是否合格。
 比较器设定画面
Comparator setting screen
 分类判定
本功能*多可将判定结果分为14类。判定结果Bin sorting
 极限判定
本功能在已设定的范围内判定测量结果是否合格。Limit sorting
 区域判定
本功能通过X轴(扫描参数)和Y1/Y2轴(测量结果)的2个维度判定扫描测量结果是否合格。Zone sorting
 处理器接口
可以将比较器的判定结果输出到背面面板上配备的处理器接口连接器。通过连接零件处理器，可以构建零件的自动判别系统。Handler interface
 

 

 外部基准时钟
外部的 10MHz 时钟信号可以用作基准时钟。
通过使用精度高于内部基准时钟的基准时钟，可以提高测量频率的精度和稳定性。
此外，通过采用与其他仪器通用的基准时钟，可以共享频率精度。EXTERNAL REFERENCE CLOCK
配备于背面面板
 

 

 存储器操作
测量条件及测量数据可以保存到内存或 USB 存储器中，也可以进行读取。
 

 

用于电化学阻抗特性测量

配备用于测量各种电化学阻抗的功能，例如测量电池的内部阻抗等。
可以从低频10μHz开始测量
利用电位梯度消除功能，抑制充放电对电位变化测量的影响
利用0° SYNC功能，在相位0°处变更测量频率，使测量前后对试样的电荷转移量为零。
利用测量同步驱动功能，仅在测量过程中输出信号，
   从而将施加信号产生的电池负担减轻到*小限度。