1. 光学原理

• 激光干涉法

• 利用激光的相干性。激光源发出的激光被分为参考光和测量光。测量光照射到被测物体表面，反射后与参考光发生干涉。如果物体表面是理想平面，干涉条纹是规则的；如果表面存在不平度，干涉条纹会发生弯曲、变形等变化。通过分析干涉条纹的形状、间距和相位变化等，可以计算出表面的不平度。

• 光反射原理

• 仪器发出一束平行光（可以是普通光源或激光源）照射到被测表面。当表面完全平直时，反射光沿特定方向返回并被接收装置接收。如果表面有起伏，反射光的方向会发生改变，接收装置检测到反射光的角度、强度等变化，从而确定表面的不平度。例如，在一些基于三角测量原理的光反射式平直度测量仪中，通过测量反射光与入射光之间的角度变化来计算高度差，进而得出表面的平直度。

2. 机械接触式原理

• 采用高精度的探头与被测物体表面接触。探头沿着被测表面移动，当表面有高低不平之处时，探头会产生上下位移。通过传感器（如电感式、电容式或应变片式传感器）将探头的位移转化为电信号，再经过放大、处理等环节，*终得到表面的平直度数据。这种方式适用于测量相对粗糙表面或者需要较高测量力以确保探头与表面良好接触的情况。

1. 高精度

• 能够测量到微米甚至纳米级别的不平度，这对于高精度加工的产品，如航空航天零部件、精密光学镜片等非常重要。通过采用高精度的光学元件、*的传感器技术和精密的机械结构，确保测量结果的准确性。

2. 高分辨率

• 在测量小范围的不平度变化时，具有高分辨率。例如，在测量电子线路板表面的微小起伏时，可以清晰地分辨出几微米的高度差，这有助于发现细微的表面缺陷，提高产品质量。

3. 多种测量模式

• 可以进行单点测量、多点测量或连续扫描测量。单点测量适用于对特定位置的平直度检测；多点测量可获取物体表面多个离散点的平直度数据，用于分析表面的整体平整度分布；连续扫描测量则能全面地描绘出物体表面的平直度轮廓，适用于对大面积表面的检测。

4. 非接触式测量（部分型号）

• 基于光学原理的非接触式测量仪，在测量过程中不会对被测物体表面造成划伤、磨损或污染。这对于一些软质、易损或高精度的表面，如光学薄膜、半导体芯片表面等的测量具有很大优势。

5. 实时测量与数据处理

• 能够在测量过程中实时显示测量数据，并可进行数据存储、分析等操作。一些*的测量仪还可以将测量结果与预设的标准值进行对比，当出公差范围时自动报警，方便操作人员及时调整生产工艺。

• 在铁路建设和维护中，测量铁轨的平直度，保证列车行驶的平稳性和安全性。在汽车制造中，测量车架、车身外壳等部件的平直度，提高汽车的整体质量。