Z向*行程6mm，重复定位精度+300nm，解决传统压电平台行程较短的弊端，降低用户安装要求

丝杆直连，提高系统刚度

控制器，CAN2.0及脉冲+方向双输入，无缝切换控制及自动对焦控制

脉冲+方向控制时，编码器实施反馈位置，防止意外碰撞损坏物镜或样品

对外连接仅需4根线，方便用户接线