涵盖了低倍到高倍观察，并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。
可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此，*光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法，可以容易的发现观察对象。此外，对于光学显微镜难以找到的观察对象，还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉（DIC） 
观察中，可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。

明视场观察（IC元件）

微分干涉（DIC）观

激光微分干涉（DIC）观察

缩短从放置样品到获取影像的工作时间。
放置好样品后，所有的操作都在1台装置上完成。可以迅速，正确的把观察对象移到SPM显微镜下面，所以只要扫描1次就能获取所需的SPM影像。


一体机的机型，所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。

OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机，所以无需重新放置样品，即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能，所以能够高效输出*结果。



OLS4500实现了无缝观察和测量




【发现】可以迅速发现观察对象

使用光学显微镜的多种观察方法， 迅速找到观察对象
OLS4500采用了白色LED光源， 可以观察到颜色逼真的高分辨率彩色影像。它装有4种物镜， 涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充分发挥了光学观察的特长， 除了*常使用的明视场观察（BF）以外， 还可以使用对微小的凹凸添加明暗对比， 达到视觉立体效果的微分干涉观察（DIC）， 以及用颜色表现样品偏光性的简易偏振光观察。此外， OLS4500上还配有HDR功能（高动态范围功能）， 该功能使用不同的曝光时间拍摄多张影像后进行合成， 来显示亮度平衡更好、强调了纹理的影像。在OLS4500上您可以使用多种观察方法迅速找到观察对象。

BF 明视场
*常使用的观察方法。在观察中真实再现样品的 
颜色。适用于观察有明暗对比的样品。

DIC 微分干涉
对于在明视场观察中看不到的样品的微小高低差， 
添加明暗对比使之变为立体可视。适用于观察金 
相组织、硬盘和晶圆抛光表面之类镜面上的伤痕 
或异物等。

简易偏振光
照射偏振光（有着特定振动方向的光线）， 使样 
品的偏光性变为肉眼可视。适用于观察金相组织、矿物、半导体材料等。

HDR 高动态范围
使用不同曝光时间拍摄多张影像并进行影像合成， 
可以观察平衡度较好的明亮部分和阴暗部分。此 
外，还可以强调纹理（表面状态），进行更精细的 
观察。




使用激光显微镜，可以观察到光学显微镜中难以观察到的样品影像
OLS4500采用了短波长405 nm的激光光源和高N.A.的物镜， 实现了优异的平面分辨率。能以鲜明的影像呈现出光学显微镜中无法看到的观察对象。在激光微分干涉（DIC）模式中还可以实时观察纳米级的微小凹凸。

明视场观察（玻璃板上的异物）

激光微分干涉观察







【接近】迅速发现观察对象，在SPM上正确完成观察
实现了无缝观察，不会丢失观察对象
OLS4500在电动物镜转换器上装配了涵盖低倍到高倍观察的4种物镜， 以及小型SPM单元。在光学显微镜或激光显微镜的50倍、100倍的实时观察中， 由于SPM扫描范围一直显示于视场中心， 所以把观察目标点对准该位置后， 只要切换到探针显微镜， 就能够正确接近观察对象。因此， 只需1次SPM扫描就能获取目标影像， 从而能够提高工作效率并降低微悬臂的损耗。


不会在SPM观察中迷失的、可切换式向导功能

使用探针显微镜开始观察之前， 可以在向导画面上设置所需的条件， 如安装微悬臂、扫描范围等。所以经验较少的操作者也能安心完成操作。







【纳米级测量】简单操作，可以迅速获得测量结果
新开发的小型SPM测头， 减少了影像瑕疵

新开发的小型SPM测头
OLS4500采用了装在电动物镜转换器上的物镜型SPM测头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端，所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。不仅如此，新开发的小型SPM测头提高了刚性，所以与传统产品相比，减少了影像瑕疵并提高了可追踪性。






使用向导功能，自由放大SPM影像
使用向导功能， 可以观察时进一步放大探针显微镜拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠标指针设置放大范围并扫描， 就可以获取所需的SPM影像。可以自由设置扫描范围， 所以大幅度提高了观察和测量的效率。

向导功能在10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范围

优异的分析功能， 应对各种测量目的

曲率测量（硬盘的伤痕）
OLS4500能够根据您的测量目的分析在各种测量模式中获取的影像，并以CSV格式输出测量结果。OLS4500有以下分析功能。

截面形状分析（曲率测量、夹角测量）


粗糙度分析


形态分析（面积、表面积、体积、高度、柱状值、承载比）


评价高度测量（线、面积）


粒子分析（选项功能）







跟从向导画面的指示， 可轻松操作的6种SPM测量模式

接触模式
控制微悬臂与样品之间作用的排斥力为恒定的同时， 使微悬臂进行静态扫描， 在影像中呈现样品的高度。还可以进行弯曲测量。


金属薄膜





动态模式
使微悬臂在共振频率附近振动， 并控制Z方向的距离使振幅恒定， 从而在影像中呈现样品高度。特别适用于高分子化合物之类表面柔软的样品及有粘性的样品。




铝合金表面






相位模式
在动态模式的扫描中， 检测出微悬臂振动的相位延迟。可以在影像中呈现样品表面的物性差。


高分子薄膜





电流模式
对样品施加偏置电压，检测出微悬臂与样品之间的电流并输出影像。此外，还可以进行I/V测量。



Si电路板上的SiO2图案样品。高度影像（左）中显示为黄色的部分是SiO2。在电流影像（右）中显示 为蓝色（电流不经过的部分）。通过上图，可以明确电路板中也存在电流不经过的部分。







表面电位模式（KFM）
使用导电性微悬臂并施加交流电压， 检测出微悬臂与样品表面之间作用的静电， 从而在影像中呈现样品表面的电位。也称作KFM（Kelvin Force Microscope）。


磁带样品。在电位影像中可以看出数百mV的电位差分布于磁带表面。这些电位差的分布，可以认为 
是磁带表面的润滑膜分布不均匀。






磁力模式（MFM）
在相位模式中使用磁化后的微悬臂进行扫描， 检测出振动的微悬臂的相位延迟， 从而在影像中呈现样品表面的磁力信息。也称作MFM（Magnetic Force Microscope）。


硬盘表面样品。可以观察到磁力信息。






装配了激光扫描显微镜，灵活应对多种样品

轻松检测85°尖锐角
采用了有着高N.A. 的物镜和光学系统（能*限度发挥405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。

LEXT 物镜

有尖锐角的样品（剃刀）





高度分辨率10 nm，轻松测量微小轮廓
由于采用405 nm的短波长激光和更高数值孔径的物镜， OLS4500达到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的光栅读取能力和奥林巴斯独有的亮度检测技术， OLS4500可以分辨出亚微米到数百微米范围内的高度差。此外， 激光显微镜测量还保证了测量仪器的两大指标——“正确性”（测量值与真正值的接近程度）和“重复性”（多次测量值的偏差程度）的性能。

0.12μm行间距

高度差标准类型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度测量中的检测







从大范围拼接影像中目标区域
高倍率影像容易使视场范围变小，而通过设置，OLS4500的拼接功能*多可以拼接625幅影像，从而能够获得高分辨率的大范围视图数据。不仅如此，还可以在该大范围视图上进行3D显示或3D测量。

主机 规格
LSM部分 光源、检出系统 光源：405 nm半导体激光、检出系统：光电倍增管
倍率 108～17,280X
变焦 光学变焦：1～8X
测量 平面测量 重复性 100x : 3σn-1=0.02μm、50x：3σn-1=0.04μm、20x：3σn-1=0.1μm
正确性 测量值的±2%以内
高度测量 方式 物镜转换器上下驱动方式
行程 10mm
内置比例尺 0.8nm
移动分辨率 10nm
显示分辨率 1nm
重复性 100x :σn-1= 0.012μm、50x：σn-1＝0.012μm、20x：σn-1＝0.04μm
正确性 0.2+L/100 μm以下（L＝测量长度）
彩色观察部分 光源、检出系统 光源：白色LED、检出系统：1/1.8英寸200万像素单片CCD
变焦 码变焦：1～8X
物镜转换器 6孔电动物镜转换器
微分干涉单元 微分干涉滑片：U-DICR、内置偏振光片单元
物镜 明视场平面半消色差透镜5X LEXT平面复消色差透镜20X、50X、100X
Z对焦部分行程 76 mm
XY载物台 100 x 100 mm（电动载物台）
SPM部分 运行模式 接触模式、动态模式、相位模式、电流模式*、表面电位模式（KFM）*、磁力模式（MFM）*
位移检出系统 光杠杆法
光源 659 nm半导体激光
检出设备 光电检测器
*扫描范围 X-Y：* 30 μm x 30 μm、Z：* 4.6 μm
安装微悬臂 在盒式微悬臂支架上一键安装。使用微悬臂安装位置调整工装夹具预对位，更换支架时无需光学调整。
系统 重量 约440 kg（不包含电脑桌）
I额定输入 100－120 V/220－240 V、600 VA、50/60 Hz