爱义信 洁净氮气柜 无尘氮气柜 千级百级氮气柜CIN系列

价格
¥5,000.00

型号
CIN

品牌
爱义信

所在地
暂无

更新时间
2023-09-12 10:01:41

浏览次数

    产品应用:

    适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒,返雾现象; 由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境,且无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘,而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净柜则适合存放需要避免灰尘污染的物品

    产品特性:

        4英寸高亮数码管显示,可视距离30米,可加装氮气节约控制系统,可加装报警系统。

    无尘风机——采用进口无尘室FFU风机,镀铝锌板材质,铝合金叶轮,风速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB。

    双面护网高效过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。

    模组化设计,温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换, 保养及维修简便,大大提升维护效率。

    技术参数: 

    材质双镜面304不锈钢

    外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm

    内尺寸: 1253W*1110H*650Dmm

    除湿等级: 相对湿度可达到5%Rh以下 (配合充氮气)

    洁净等级: ISO Class 2(百级) ISO Class 3(千级)

    湿度显示范围: 0.1%RH-99.9%RH

    湿度显示范围: -40℃-70.0℃-9.9℃以下显示不带小数点)

    温湿度显示器精度: 相对湿度±3%Rh,温度±1℃

     

    爱义信 洁净氮气柜 无尘氮气柜 千级百级氮气柜CIN系列
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