产品应用：

适合半导体前端单晶硅制作过程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象； 由于普通的干燥存储柜或者氮气柜设计都为全封闭环境，且无自净功能，故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。洁净柜则适合存放需要避免灰尘污染的物品

产品特性：

    4英寸高亮数码管显示，可视距离30米，可加装氮气节约控制系统，可加装报警系统。

无尘风机——采用进口无尘室FFU风机，镀铝锌板材质，铝合金叶轮，风速0.3-0.45m/s，噪音<=55dB。

双面护网高效过滤器——过滤效率高99.99%@0.3um。

模组化设计，温湿度显示器、控制系统、除尘系统及除静电系统均能快速更换， 保养及维修简便，大大提升维护效率。

技术参数： 

材质：双镜面304不锈钢

外尺寸： 1300W*1836H*800Dmm

内尺寸： 1253W*1110H*650Dmm

除湿等级： 相对湿度可达到5%Rh以下 （配合充氮气）

洁净等级： ISO Class 2（百级） ISO Class 3（千级）

湿度显示范围： 0.1%RH-99.9%RH

湿度显示范围： -40℃-70.0℃（-9.9℃以下显示不带小数点）

温湿度显示器精度： 相对湿度±3%Rh，温度±1℃