型号

l 3020

实际测量尺寸

l 300*200*180(mm)

测量精度

（3+L/200）μm

外形尺寸（mm）

580*680*980

整机重量

240kg

机械本体

底座，立柱：三轴花岗岩主体结构，物理性能稳定

l S

导轨：   FY-V平行精密滚珠交叉导轨

l 

光栅尺：SINPO闭合式光栅尺，分辨率1µm

l 

Z轴驱动方式：  精密伺服Z轴自动对焦

光学系统

  CCD

海康威视高速光纤工业数字高解析相机

（不需搭载视频卡 使成像更清晰）

l 

镜头

普密斯6.5：1可变倍镜头

l 

表面光

五环8区LED冷光源，256级亮度可调

l 

轮廓光

LED冷光源，256级亮度可调

轴承配件

日本NSK高速轴承

日本NSK高速轴承

限位开关件

日本欧姆龙点限位开关

日本欧姆龙点限位开关

联轴器

日本米思米联轴器

日本米思米联轴器

软件系统

多语言zonson智能自动测量系统

0. 1微米分辨率三轴DC300解析系统

附件

保养手册

出厂检验报告

1微米分辨率校准片

各适用连接线