一、功能介绍：

适用于半导体材料企业、科研、高等校及实验室分析半导体材料纵向电阻率；可测量横截面积均匀的圆形、方形或矩形硅单晶的电阻率，试样长度与截面尺寸之比应不小于3:1；配置测量平台，正反向电流测量模式；液晶显示，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，可选购PC软件实时数据和报表管理；提供中文或英文两种语言操作界面选择.

二.参照标准：

FT-300TZ两探针电阻率测试仪

GB/T 1551-2009 硅单晶电阻率测定方法-方法2直流两探针法；

SEMI MF 397-1106<<硅棒电阻率测定两探针法>>

三、参数 资料

1.电阻率：10^-7～2×10^7Ω-cm
2.电 阻：10^-7～2×10^7Ω

3.电导率：5×10^-7～10^7s/cm

4.分辨率： 0.1μΩ 测量误差±（0.05%读数±5字）

5.测量电压量程： 2mV   20mV  200mV 2V 测量精度±（0.1%读数）

6.分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV

7.电流输出：直流电流 0～1000mA 连续可调，
量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA, 误差：±0.2%读数±2字

8.显示方式：液晶显示：电阻值、电阻率、电导率值、温度、单位自动换算、横截面、高度、电流、电压等.

9.温度要求：23℃±1℃

10.电源：220±10% 50HZ/60HZ

11. 测量平台参数如下：

1）.可测硅芯、检验棒尺寸：直径4~22㎜ （其他规格可定制）

2）.探针头探针与试样接触位置重复，无横向移动。

3）.两探针测试探针。探头间距1.59mm（其他规格可定制）；探针机械游率：±0.3%。

4）.探针直径0.8㎜；探针压力6-12N，探针材料：钨针，

5）.探针间及探针与其他部分之间的绝缘电阻大于10⁹欧

12.标配外选购项：a.pc软件1套；b.标准电阻1件；c.电脑和打印机

FT-300TZ两探针电阻率测试仪