特点

量程：0.001~760 托（0.13~101K 帕）
•响应时间：小于 2 毫秒
•功耗：小于 5mW（10Hz 唤醒频率）
•利用差分结构实现自动内部温度补偿（依赖于
实际应用电路）
•可以浸泡于溶液中清洗，延长使用寿命
应用 
• 密闭真空系统的泄漏检测
•真空包装机
•便捷式数字真空计
极限条件 
•工作温度：-25~85℃ 
•存储温度：-40~90℃
•机械冲击：100g 峰值（5 次跌落，3 轴）

博思发科技公司的PVC3000系列MEMS热电堆真空传感器提供了突破性的真空测量解决方案。通过这个方案，可以测量从1mTorr(0.13Pa)到标准大的压力(760Tor，101KPa)的量程。显然，皮拉尼真空度传感器的测量上限只能达到30Torr。压阻式压力传感器不能测量低于10Torr的真空度。在昂贵的电容压力传感器的测量下，限制也只有0.1Torr。PVC3000系列传感器可以同时取代上述几种传感器。

PVC3000系列传感器，目前为客户提供两种包装形式。PVC3001封装在TO5。PVC3004封装在TO46封装。