方案应用
用于金属、非金属或符合材料表面镀层的分析,是具有成本效益的质量控制工具,可提高生产效率、减少零件浪费,同时减少生产成本。
X射线微区分析技术通过位置精度高的自动样品台和高灵敏度性能,可以对微小物体进行快速扫描和检测,也可对电子基板等符合材料制品的微小特定部位实施定点测量。
创新技术
1. 国际领 先的X射线微聚焦技术,可将测试X光斑缩小至50um,能够对微小镀件测量或同一镀件不同部位镀层厚度,以确定镀层均匀度和厚度分布
2. 高清双路光学辅助摄像系统,轻松确定微小测试区域
3. 定位精度≤0.01mm的全自动X、Y、Z三轴三维测样平台和激光对焦系统,保障了微小区域的对焦,实现对样品进行快速准确测量。
4. 智能分析软件,对样品光学图像进行处理,对检测位进行连续多点自动测量,大尺寸样品自动判断扫描区域,薄膜FP法使镀层、多层膜分析更方便准确。
5. Φ0.05mm,Φ0.5mm,Φ2mm,Φ4mm共4个准直器自动切换,既能满足微小样品的测量,又可实现常规样品的准确测试。
参数规格
1 分析元素范围:S-U2 同时可分析多达5层以上镀层3 分析厚度检出限高达0.005μm4 多次测量重复性高可达0.01μm5 定位精度:0.1mm6 测量时间:30s-300s7 计数率:1300-8000cps8 Z轴升降范围:0-140mm9 X/Y平台可移动行程:50mm(W)×50mm(D)
性能特点1 满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求;2 Φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求;3 高精度移动平台可定位测试点,重复定位精度小于0.005mm;4 天瑞仪器镀层测厚仪采用高度定位激光,可自动定位测试高度;5 定位激光定位光斑,确保测试点与光斑对齐;6 鼠标可控制移动平台,鼠标点击的位置就是被测点;7 高分辨率探头使分析结果更加准确;8 良好的射线屏蔽作用;9 测试口高度敏感性传感器保护;
应用范围
工业防腐镀层、装饰镀层、电子器件功能镀层、优化机械性能镀层、薄膜分析......
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用于金属、非金属或符合材料表面镀层的分析,是具有成本效益的质量控制工具,可提高生产效率、减少零件浪费,同时减少生产成本。
X射线微区分析技术通过位置精度高的自动样品台和高灵敏度性能,可以对微小物体进行快速扫描和检测,也可对电子基板等符合材料制品的微小特定部位实施定点测量。
创新技术
1. 国际领 先的X射线微聚焦技术,可将测试X光斑缩小至50um,能够对微小镀件测量或同一镀件不同部位镀层厚度,以确定镀层均匀度和厚度分布
2. 高清双路光学辅助摄像系统,轻松确定微小测试区域
3. 定位精度≤0.01mm的全自动X、Y、Z三轴三维测样平台和激光对焦系统,保障了微小区域的对焦,实现对样品进行快速准确测量。
4. 智能分析软件,对样品光学图像进行处理,对检测位进行连续多点自动测量,大尺寸样品自动判断扫描区域,薄膜FP法使镀层、多层膜分析更方便准确。
5. Φ0.05mm,Φ0.5mm,Φ2mm,Φ4mm共4个准直器自动切换,既能满足微小样品的测量,又可实现常规样品的准确测试。
参数规格
1 分析元素范围:S-U
2 同时可分析多达5层以上镀层
3 分析厚度检出限高达0.005μm
4 多次测量重复性高可达0.01μm
5 定位精度:0.1mm
6 测量时间:30s-300s
7 计数率:1300-8000cps
8 Z轴升降范围:0-140mm
9 X/Y平台可移动行程:50mm(W)×50mm(D)
性能特点
1 满足各种不同厚度样品以及不规则表面样品的测试需求;
2 Φ0.1mm的小孔准直器可以满足微小测试点的需求;
3 高精度移动平台可定位测试点,重复定位精度小于0.005mm;
4 天瑞仪器镀层测厚仪采用高度定位激光,可自动定位测试高度;
5 定位激光定位光斑,确保测试点与光斑对齐;
6 鼠标可控制移动平台,鼠标点击的位置就是被测点;
7 高分辨率探头使分析结果更加准确;
8 良好的射线屏蔽作用;
9 测试口高度敏感性传感器保护;
应用范围
工业防腐镀层、装饰镀层、电子器件功能镀层、优化机械性能镀层、薄膜分析......