随着我国电子产品制造业的飞速发展，用于生产集成电路芯片和液晶显示器面板等高精度电子产品的洁净厂房相继建造。由于高精度电子产品的成品率和可靠性很大程度上取决于制造环境的洁净程度和物理环境，因此电子工业洁净厂房对其洁净度和温湿度等关键参数的要求越来越严格。ＧＢ５０４７２—２００８《电子工业洁净厂房设计规范》要求根据电子工业洁净厂房不同洁净度级别，其洁净度检测长时间间隔为６个月（空气洁净度１～５级）或１年（空气洁净度６～９级）；截面风速、换气次数、温湿度和噪声等参数检测时间间隔不过１２个月。笔者依据ＧＢ５０４７２—２００８和ＧＢ５０５９１—２０１０《洁净室施工及验收规范》相关要求，对电子工业洁净厂房洁净区的洁净度、截面风速、换气次数和温湿度等重要参数检测方法和要点进行梳理分析，以期为相关从业人员提供参考。电子工业洁净厂房洁净区型式与关键检测参数根据电子工业洁净厂房洁净区生产的电子产品工艺特点、空气洁净度等级和工艺生产流程要求可分为隧道式、开放式和微环境式等，也可按照气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。通常情况下，考虑节约能源、减少初投资和降低运行费用等因素，ＧＢ５０４７２—２００８提出“各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度要求严格时，宜采用微环境等型式”。

所示为检测的一典型电子工业洁净厂房平面图。通常电子工业洁净厂房从入口处依次为非洁净区的一次更衣区、男／女更衣室、缓冲室，之后进入洁净区范围。根据不同工艺要求，厂房内可设置多个不同洁净度级别，相邻的不同洁净区之间设置一定压力梯度，保证高级别洁净度房间不被低级别洁净度房间污染。ＧＢ５０４７２—２００８的３.２.１条提出电子工业洁净厂房的洁净区空气洁净度等级应按照ＧＢ５００７３—２０１３《洁净厂房设计规范》执行。fjaosijfoiaew:namespace prefix = "o" ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" />

洁净度、截面风速与换气次数、温／湿度与噪声、照度是洁净区（室）净化空调系统关键检测参数。合理设计相关参数检测次序对检测工作效率和结果有重要影响。通过对大量电子工业厂房洁净区（室）净化空调系统检测工作的结，建议采取的检测次序为先检测截面风速（或换气次数），其次检测洁净度，再检测噪声与温／湿度，而照度的检测可穿插于任何一个检测过程中。

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