晶片清洗系统 晶圆清洁机出售 -世纪远景

价格
¥9,700.00

型号
ADT 977

品牌
ADT

所在地
暂无

更新时间
2023-02-25 07:16:01

浏览次数

    “ADT晶圆划片清洗机WCS-977”参数说明

    主要功能:用于晶圆划片后芯片表面残留物的清洗,避免表面沾污、微粒影响后继封装工艺。

    应用领域:芯片切割,该设备为划片工艺后之晶圆连同绷框置于旋转的吸盘上面,藉真空吸盘吸住晶圆。 吸盘下方为变频马达用于清洗、吹干及旋干时之转动。 利用步进马达转动二流体喷嘴及喷气嘴,借以喷洒清洗剂及清除切屑、杂质及吹干水份。

    PWRJ2)0(QJA[1BWJXP}MIVF

    晶片旋转涂胶技术
    *切割过程晶片表面完全保护
    **去除污染和残留物质
    *雾化清洗和N2吹干
    . 紧凑设计
    . 雾化或高压清洗
    . 容易使用- 一键启动和自动关盖
    . 直观的操作面板
    . 通过状态指示灯和警报器进行过程监控
    . 灯塔和蜂鸣器
    . 符合苛刻的安全标准
    . 环境友好
    规格:
    977- 200 977L - 300
    *产品尺寸 Ø 200 mm Ø 300 mm
    清洗方式 雾化清洗/
    高压清洗 雾化清洗/
    高压清洗
    可存储菜单数量 8 8
    工作平台转速范围 200–3000 rpm 200–2500 rpm
    设备尺寸 (WxDxH) 410 x 625 x 950 mm 520 x 809 x 950 mm
    机器重量 100 kg 160 kg
    特性:
    • 雾化清洗
    • 自动关盖
    • 直观的控制面板
    • 过程监控
    • 紧凑的设计
    • 坚固,无振动
    • 环境友好
    • 可选项:
    * 内置排风
    * CO2 注入
    * 客制工作卡盘
    * 清洁添加剂


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