技术参数：
• 尺寸 (H x W x D): ~ 150 x 195 x 265 mm, 重量: ~4.4 kg
• 自动转换100/240V外部电源
• FSMA 行业标准分叉光光纤连接器
• 德国Carl Zeis的分光仪模块，使用全息凹面衍射光栅
• 512像素光电二极管,无冷却要求
• 工厂预置模块，无移动部件
• 波长范围: 600-1020 nm
• 厚度测量范围：约2um至120um
• 光谱分辨：2.4 nm
• 光谱像素分辨： 0.8 nm
• *波长精度: 小于 0.3 nm
• 温度漂移: 小于0.005 nm / Kelvin
• 集成机械光闸，手动或自动切换
• 美国Welch Allyn 7W微型卤素灯
• 配备FTM-Provis Lite膜厚测量软件，可同时TCL和IPL双层膜厚

• 配备FTM-Lite X膜厚测量软件可，同时分析TCL、IPL和AFL三层膜厚

• 多线程 MDI-应用, 详细的帮助菜单,彩色打印的用户手册
• 通过特定的傅里叶快速转换进行干涉波谱计算
• 用于计算FFT峰位(膜厚结果)的高精度算法
• 准确性+/- 0.005 um, 重复性 +/- 0.002 um( 标准WEG 测试)
• 测量期间能实时显示干涉,FFT波谱和膜厚的趋势
• 考虑折射率和色散 (柯西色散定理)
• 可同时测量双层或三层膜厚