M系列气体质量流量计
美国艾里卡特科技有限公司(Alicat Scientific Inc.) 于1991 年在美国成立，是全球杰出的质量流量和压力解决方案厂商，隶属于英国豪迈(Halma)集团环境与分析事业部，荣膺“年度子公司奖”、“国际业务拓展增长奖”和“豪迈创新奖”。
Alicat产品采用层流差压式原理，拥有LFE技术，凭借航天级水准，长期支持美国航天局(NASA)、SpaceX火箭项目，并为科研及工业领域提供快捷、稳定的技术解决方案。
产品类型：气体或液体质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
客户行业：实验科研、环境保护、生物医药、过程控制、能源化工、半导体以及相关的公共事业。
应用领域：计量检测、泄漏测试、生物发酵、燃烧控制、真空镀膜、光伏、燃料电池等。
实时完成高精度多元流量测量
M系列气体质量流量计同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度，可用流量量程跨度宽，内置多种气体校准，使得这款流量计成为您实验室的明星设备。

• 准确。流量测量具有NIST可溯源精度，适用于低至满量程1/200th的各种气体，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
• 使用简单。只要您打开流量计，流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
• 连接。艾里卡特M系列气体流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式；订购时，可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通讯，方便与您的数字工业或实验室网络整合。

过滤器性能测试
利用压力控制器使过滤器维持一定差压，通过流量与压损对比曲线图，确定过滤器性能。质量流量计显示的流量读数即为克服压损所需要的流量。
快速泄漏测试
测量目标设备的压力，采用配有远程传感端口的艾里卡特PC3系列压力控制器控制目标设备的压力，以判断是否泄漏。该方案消除了质量流量计以5ms响应速度测量泄漏率过程中产生的压损。
更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。
性能

• 可用量程：*0-5000 slpm；*小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）
• 可调比：200:1（M系列）或者100:1（MS系列）
• 标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）
• 高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）
• 可重复性：0.2%满量程
• 标准控制器响应时间常数：5-10ms
• 无需预热时间

工作条件

• 兼容气体：98（MB系列）或130（MBS系列）种预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
• 工作温度：-10°C至+60°C
• *内部压力（静态）：145 psig（160 psia）
• *差压（进口至出口）：75 psid
• 耐受压力：175 psig（190 psia）
• STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

包装清单

• M系列气体质量流量计（电源需另行订购）
• NIST可溯源校准证书
• 艾里卡特操作说明书

配件（需另行订购）

• 过程端口接头和过滤器
• 电源
• 通讯线缆和转换线缆
• BB3和BB9多点式集线盒
• Flow Vision软件

型号变体

• 低压损型号，*多60 psia（MW系列）
• 高压型号，160-320 psia（MQ系列）
• 腐蚀性气体型号（MS系列，见下文）
• 配有可充电电池的便携式型号（MB系列）

腐蚀性气体（MS系列）
M系列气体质量流量计中，还有适用于腐蚀性气体的“S”系列配置（即MS系列）可供选择。该配置中，我们将流量仪表主体部分和传感器升级为316L不锈钢材质，将弹性体材料升级为FFKM。
结构选项

• 通讯协议（模拟通讯，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太网/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
• 显示屏（单色或彩色，内置或面板安装）
• 工艺连接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接压缩或VCR/VCO接头）
• 弹性体材料（氟橡胶、FFKM、EPDM、硅树脂）

性能选项

• 流量累加器
• 高精度或自定义校准