Leica DM3 XL徕卡材料显微镜-微电子和半导体用快速检测检验系统：

Leica DM3 XL徕卡全手动正置材料显微镜，是特别适合微电子和半导体检测快速检测的检验系统。在微电子和半导体的检验、过程控制或缺陷和故障分析中，要求检测速度必须够快，才能满足快速做出反应的要求。DM3 XL显微镜充分利用特有的宏观物镜视场宽敞30%，快速扫描大到6"样品组件，检验系统凭借大视场能快速识别缺陷，提高工作效率。同时DM3 XL检验系统为中等预算用户提供了高端品质，是微电子和半导体理想的检验系统。

Leica DM3 XL徕卡材料显微镜-关键特征体现优势：

高效检验大到 6" 样品
• 0.7X放大倍率的宏观物镜实时采集35.7mm的视场，快速扫描大到6"的样品组件，更多细节尽收眼底，工作更高效
• 宏观物镜下可靠检测晶片边缘或中心显影不足区域、不均匀的径向膜厚度等
• 视场比普通物镜宽敞30%，能有效节省检验时间，快速检测、快速响应

LED照明适用任何相衬观察方法
• 徕卡特有的LED照明，提供恒定色温，亮度等级自由调节，真彩色成像，始终可看到相同颜色样品，并获得可复制的结果
• 适用于明场、暗场、微分干涉相衬、偏振、荧光和斜射照明
• LED使用寿命可达35000小时，低能耗，节约成本

以实惠价格享受徕卡的光学特性
•  采用斜射照明检验侧面、边缘或碎屑，从不同角度照亮样品，是简单有效的形貌可视方法
•  借助深暗场对比检测样品较低层中的微小划痕或小颗粒，此外暗场的大工作距离有利于保护珍贵样品免受损伤

多种载物台插件适合不同样品
• 载物台插件种类丰富，依据被检测样品形状和尺寸的选配
• 载物台尺寸：150 mm x 150 mm
• 供选配的载物台插件：金属插件、晶片支座或掩模支座
• 能实现载物台快速粗略或定位

直观明了工作更舒适
• 彩色编码功能对基本设置进行简化，提升工作速度，并减少操作失误
• 采用人体工学设计，舒适性好，操作更简单