◎应用原理
在高真空环境中都存在着一定的残余气体,
65%~95%是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,
但机械泵抽除残余气体的能力差,
时间长,而且残余气体是典型的*副作用的污染
气体,是工件的污染源,从而使产品的产量和质量
受到影响。Vapor Polycooler水汽深冷捕集泵则是解决
这类问题的上佳选择。
Vapor Polycooler的工作原理:将一个-100℃以下的低
温盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面
的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体,从而大大缩短抽
真空的时间(可缩短25%-75%的抽气时间)、获
得洁净的真空环境,提高产品的产量和质量,获得更高的商品价值。
Vapor Polycooler是一个低温制冷系统,通过在低温表
面的低温冷凝效应来捕集挥发性分子。主要用于开高
真空阀后捕集真空腔内
的水汽,快速制冷和除霜,也用于返油*小化控制。
◎产品优点
·温度可达到-120℃~-145℃。(*低可到-165℃)
·多种型号,*制冷量可达到3500W。
·*水汽抽速为250,000L/s,真空可达到1.5*10-9torr。
·快速捕集水汽、油蒸汽,在高真空系统中可缩短25%-75%的抽
气时间,提高真空系统生产能力约20%到*。
·改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
·8路温度显示和监控,包括负载的入口和出口、本机内部多级制
冷、排气、冷却水等温度。
·6组安全保护,包括温度、压力、电源相序及过载等。
·国际*制冷压缩机,绿色环保混合型制冷剂,高效可靠。
·完善的自动化控制,本地、远程可选,带RS485通信.
·一台机器可带2路负载输出,满足用户的不同需求.
◎6组安全保护
·排气压力过低
·排气压力过高
·排气温度过高
·冷凝温度过高或过低
·制冷机过载或过热
·电源相序异常
VPC系列水汽深冷泵,运用自有的核心技术,成熟的设计方案,
所有机型采用单台压缩机,环保混合制冷剂,自动复叠制冷,
制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。
我们提供完整的冷却方案,帮助客户减少生产费用,改进制
程表现,提高工作场所安全和增加生产可靠性。可替代液氮,
节约成本。在实际应用当中,根据所放的位置不同可以
分为两类:
1、低温盘管 CryoCoil
低温盘管一般安装在真空室内,或高阀与真空室之间,适用于镀膜材料放气量较大的场合.低温盘管同时具备加热除霜功能,使低温盘管在每次开门之前恢复到常温,有利于下次抽真空。
2、低温挡板 CryoBaffle
安装在扩散泵上方,主要功能是防止油扩散泵的油气返流,同时也可以抽除水汽,提高真空度。
◎基本应用
·在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统,可以用于真空室内抽吸水汽,也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
·根据需要,低温盘管和低温挡板,可以分别安装.也可以同时安装。
·根据需要,客户可以定制不同形状的低温盘管和低温挡板。
型号
单位
VPC-300
VPC-1200
VPC-1800
VPC-3500
VPC-1200LT
制冷量
W
300
1200
1800
3500
420
工作温度
℃
-90~-135
-100~-145
-120~-165
水汽补集速度
I/sec
18000
74000
104000
250000
37250
极限真空度
torr
2×10-8
2×10-9
1.5×10-8
4×10-12
低温盘管面积
m2
0.1
0.5
1.0
2.0
0.25
低温盘管外径
mm
ф10
ф12
ф16
低温盘管长度
m
4
12
14
40
8
预冷时间
min
≤30
≤40
除霜时间
N/A
≤4
冷却方式
风冷
水 冷 (水 温 t ≤30 ℃)
冷却水接口
inch
1/2
3/4
电源要求
V/P/Hz
kW
220/1/50
2.5
380/3/50
6.5
8.5
11.6
11.2
外形尺寸
Wmm
Dmm
H mm
500
550
750
900
1650
920
1750
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◎应用原理
在高真空环境中都存在着一定的残余气体,
65%~95%是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,
但机械泵抽除残余气体的能力差,
时间长,而且残余气体是典型的*副作用的污染
气体,是工件的污染源,从而使产品的产量和质量
受到影响。Vapor Polycooler水汽深冷捕集泵则是解决
这类问题的上佳选择。
Vapor Polycooler的工作原理:将一个-100℃以下的低
温盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面
的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体,从而大大缩短抽
真空的时间(可缩短25%-75%的抽气时间)、获
得洁净的真空环境,提高产品的产量和质量,获得更高的商品价值。
Vapor Polycooler是一个低温制冷系统,通过在低温表
面的低温冷凝效应来捕集挥发性分子。主要用于开高
真空阀后捕集真空腔内
的水汽,快速制冷和除霜,也用于返油*小化控制。
◎产品优点
·温度可达到-120℃~-145℃。(*低可到-165℃)
·多种型号,*制冷量可达到3500W。
·*水汽抽速为250,000L/s,真空可达到1.5*10-9torr。
·快速捕集水汽、油蒸汽,在高真空系统中可缩短25%-75%的抽
气时间,提高真空系统生产能力约20%到*。
·改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。
·8路温度显示和监控,包括负载的入口和出口、本机内部多级制
冷、排气、冷却水等温度。
·6组安全保护,包括温度、压力、电源相序及过载等。
·国际*制冷压缩机,绿色环保混合型制冷剂,高效可靠。
·完善的自动化控制,本地、远程可选,带RS485通信.
·一台机器可带2路负载输出,满足用户的不同需求.
◎6组安全保护
·排气压力过低
·排气压力过高
·排气温度过高
·冷凝温度过高或过低
·制冷机过载或过热
·电源相序异常
VPC系列水汽深冷泵,运用自有的核心技术,成熟的设计方案,
所有机型采用单台压缩机,环保混合制冷剂,自动复叠制冷,
制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。
我们提供完整的冷却方案,帮助客户减少生产费用,改进制
程表现,提高工作场所安全和增加生产可靠性。可替代液氮,
节约成本。在实际应用当中,根据所放的位置不同可以
分为两类:
1、低温盘管 CryoCoil
低温盘管一般安装在真空室内,或高阀与真空室之间,适用于镀膜材料放气量较大的场合.低温盘管同时具备加热除霜功能,使低温盘管在每次开门之前恢复到常温,有利于下次抽真空。
2、低温挡板 CryoBaffle
安装在扩散泵上方,主要功能是防止油扩散泵的油气返流,同时也可以抽除水汽,提高真空度。
◎基本应用
·在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统,可以用于真空室内抽吸水汽,也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。
·根据需要,低温盘管和低温挡板,可以分别安装.也可以同时安装。
·根据需要,客户可以定制不同形状的低温盘管和低温挡板。
型号
单位
VPC-300
VPC-1200
VPC-1800
VPC-3500
VPC-1200LT
制冷量
W
300
1200
1800
3500
420
工作温度
℃
-90~-135
-100~-145
-100~-145
-100~-145
-120~-165
水汽补集速度
I/sec
18000
74000
104000
250000
37250
极限真空度
torr
2×10-8
2×10-9
2×10-9
1.5×10-8
4×10-12
低温盘管面积
m2
0.1
0.5
1.0
2.0
0.25
低温盘管外径
mm
ф10
ф12
ф16
ф16
ф10
低温盘管长度
m
4
12
14
40
8
预冷时间
min
≤30
≤30
≤30
≤40
≤40
除霜时间
min
N/A
≤4
≤4
≤4
≤4
冷却方式
风冷
水 冷 (水 温 t ≤30 ℃)
冷却水接口
inch
N/A
1/2
1/2
3/4
1/2
电源要求
V/P/Hz
kW
220/1/50
2.5
380/3/50
6.5
380/3/50
8.5
380/3/50
11.6
380/3/50
11.2
外形尺寸
Wmm
Dmm
H mm
500
550
12
750
900
1650
750
900
1650
750
920
1650
750
920
1750