半导体/FPD检查显微镜 规格 |
MX61L |
MX61 |
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光学系统 |
UIS2光学系统(无限远校正) |
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机身 |
观察方法 |
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 |
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反射/透射 |
反射/透射 |
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照明装置 |
机身一体型(明视场,暗视场+1选件) |
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照明系统 |
反射照明 |
100 W卤素/100 W水银/75 W氙 |
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透射照明 |
纤维光导 |
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对焦单元 |
电动/手动 |
手动 |
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行程 |
32 mm |
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分辨率/微调灵敏度 |
微调旋钮转动1周移动0.1 mm |
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大样本高度 |
30 mm |
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物镜转换器 |
电动型 |
明视场微分干涉6孔 |
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明暗视场微分干涉5孔 |
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明暗视场微分干涉6孔 |
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明暗视场微分干涉中心输出5孔 |
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手动式 |
- |
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载物台 |
行程 |
14×12英寸右下手柄: |
8×8 英寸右下手柄: |
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观察筒 |
广角视场 |
倒置 |
双目/三目观察筒 |
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正像 |
三目观察筒 |
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宽视场 |
倒置 |
三目观察筒 |
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正像 |
倾斜三目观察筒 |
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附件单元 |
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载 |
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外形尺寸 |
710(W)×843(D)×507(H)mm |
509(W)×843(D)×507(H)mm |
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重量 |
51 kg(标准组合) |
40 kg(标准组合) |
其他推荐产品
产品介绍
MX61L/ MX61 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法(DIC)、荧光法、红外线法和深紫外线法,保证了的图像分辨率和鲜明度。
半导体/FPD检查显微镜 规格
MX61L
MX61
光学系统
UIS2光学系统(无限远校正)
机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射
反射/透射
照明装置
机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W水银/75 W氙
透射照明
纤维光导
对焦单元
电动/手动
手动
行程
32 mm
分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm
大样本高度
30 mm
物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式
-
载物台
行程
14×12英寸右下手柄:
356(X)×305(Y)mm
(透射照明范围356×284 mm)
8×8 英寸右下手柄:
210(X)×210(Y)mm
(透射照明范围189×189 mm)
6×6 英寸右下手柄:
158(X)×158(Y)mm
观察筒
广角视场
(视场数22)
倒置
双目/三目观察筒
正像
三目观察筒
宽视场
(视场数26.5)
倒置
三目观察筒
正像
倾斜三目观察筒
附件单元
DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸
710(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合)
509(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合)
重量
51 kg(标准组合)
40 kg(标准组合)