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进口供应ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® C-Seal 集成气体过滤器
2025/03/20 09:06:18
进口供应ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® C-Seal 集成气体过滤器
进口供应ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® C-Seal 集成气体过滤器
Wafergard® SL 1.125“ C-Seal 集成气体过滤器
Wafergard® C-Seal 集成过滤器将*的过滤器与*小的集成设计相结合，显著减少气体面板的占地面积，并提供*工艺保护。
与 1.125“ C-Seal 集成接口兼容，可*限度地减少排放并提供*的耐腐蚀性
减小了内部体积，提高了二次侧的清洁度
洁净室制造和包装
可选择镍或不锈钢膜
应用Wafergard® SL 1.125“ C-Seal 集成气体过滤器应用燃气面板
高纯气体管线
高温应用
脉动应用
惰性气体、氢化物气体、CO2 用于气体的不锈钢过滤器，用于惰性和反应性气体的镍过滤器
| 材料 | Filter 部分： |
NF 型 - 烧结镍 SF 型 - 烧结不锈钢 |
| 外壳，底块： | 316L 不锈钢（电解抛光，符合 SEMI F20 标准）® | |
| 入口/出口连接 | Surface Line 1.125“ C 型密封 | |
| 颗粒去除尺寸 | > 0.0015 微米 | |
| 内表面粗糙度 | < 5 μin Ra | |
| He 泄漏率 | 值：2 x 10-10 cc/秒 | 测试值：1 x 10-9 cc/秒 |
| 二级清洁度 | 粒子* | 大于 0.01 μm 且小于或等于 0.03 pcs/L 的颗粒 |
| 挥发 物** |
H2O、O2，THC 发射量低于 检测限（由于室温下的 RGA 和 FID） |
|
| 颗粒去除性能 | NF 型 - 所有颗粒为 99.999999999 % 或更高（*容易通过的颗粒尺寸） | |
| SF 型 - 所有颗粒的 99.9999% 或更多（*容易通过的颗粒尺寸） | ||
| 使用条款 | 常压 |
小于 1 MPa @ 20°C （适用于日本的高压气体安全法。 如果您想使用过 1 MPa，请联系我们。 ) |
| *允许正/反向压差 | 1 MPa @ 23 °C | |
| NF Mini、NF Mini XL：0.8 MPa @ 23 °C | ||
| *工作温度 | 惰性气体：400 °C | |
| 腐蚀性和反应性气体：50 °C | ||
|
* 颗粒清洁度（根据 SEMASPEC 测试方法）：颗粒脱落 （#93021511A-STD） ** 挥发物清洁度（根据 SEMASPEC 测试方法）：THC （#90120396B-STD）、水分 （#90120397B-STD）、氧气 （#90120398B-STD） |
||
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）
