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首页 >北崎国际贸易(北京)有限公司> 技术文章> 原装进口EBARA 荏原 CMP设备 EAC
原装进口EBARA 荏原 CMP设备 EAC
2025/03/13 09:00:21
原装进口EBARA 荏原 CMP设备 EAC
原装进口EBARA 荏原 CMP设备 EAC
EAC 类型
由于具有固定磨粒和边缘控制功能,因此具有高抛光和去除性能的坡口抛光设备
由于固定的磨粒,具有*的抛光和去除性能
设备表面的无接触概念
坡口形状轮廓控制功能
宽而灵活的抛光区域
兼容 SEMI-S2/CE 标志
产品介绍
EAC 模型是一种通过抛光斜面部分(半导体晶片的端面)和晶片前后表面的边缘部分来去除缺陷和不必要的薄膜的装置。 固定的磨粒允许进行物理抛光,而抛光目标没有选择性。 此外,配方可控的抛光头可实现对晶圆端面形状的高精度控制。
仪器相关:
山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)
备件设备相关:
柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关:
岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制:
SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)