北崎供应 EBARA 荏原 G5-350 P1-P4 燃烧式废气处理器
北崎供应 EBARA 荏原 G5-350 P1-P4 燃烧式废气处理器
北崎供应 EBARA 荏原 G5-350 P1-P4 燃烧式废气处理器
G5 系列
可燃性气体和温室气体 (PFC) 气体的高效处理、燃烧式废气处理装置
规范
型
单位
G5-350 A1~A4/P1~P4
G5-500 A1~A4/P1~P4
G5-600 A1~A4/P1~P4
G5-1200 A1~A4/P1~P4
加工方法
燃烧 + 湿式
燃烧 + 湿式
燃烧 + 湿式
燃烧 + 湿式
*进气量
升/分钟
350
500
600
1200
燃料
城市燃气/丙烷气选择
城市燃气/丙烷气选择
城市燃气/丙烷气选择
城市燃气/丙烷气选择
大小
宽 x 深 x 高 mm
1,200 x 650 x 1,900
1,200 x 650 x 1,900
1,200 x 1,100 x 2,000
1,200 x 1,100 x 2,200
可处理气体示例
工艺(库)气体
SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀
刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
PFC
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
工艺(库)气体
SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀
刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
PFC
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
工艺(库)气体
SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀
刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
PFC
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
工艺(库)气体
SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等
一般
清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀
刻气体
HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
PFC
CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
标准设备
除粉 vernas 刮刀
除粉 vernas 刮刀
除粉 vernas 刮刀
除粉 vernas 刮刀
选择
市政水和废水消耗减少装置
市政水和废水消耗减少装置
市政水和废水消耗减少装置
市政水和废水消耗减少装置
产品介绍
规范
型 | 单位 | G5-350 A1~A4/P1~P4 | G5-500 A1~A4/P1~P4 | G5-600 A1~A4/P1~P4 | G5-1200 A1~A4/P1~P4 |
加工方法 | 燃烧 + 湿式 | 燃烧 + 湿式 | 燃烧 + 湿式 | 燃烧 + 湿式 | |
*进气量 | 升/分钟 | 350 | 500 | 600 | 1200 |
燃料 | 城市燃气/丙烷气选择 | 城市燃气/丙烷气选择 | 城市燃气/丙烷气选择 | 城市燃气/丙烷气选择 | |
大小 | 宽 x 深 x 高 mm | 1,200 x 650 x 1,900 | 1,200 x 650 x 1,900 | 1,200 x 1,100 x 2,000 | 1,200 x 1,100 x 2,200 |
可处理气体示例 |
工艺(库)气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀 刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
工艺(库)气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀 刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
工艺(库)气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀 刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
工艺(库)气体 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等 一般 清洁气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等 一般蚀 刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。 |
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标准设备 | 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | 除粉 vernas 刮刀 | |
选择 | 市政水和废水消耗减少装置 | 市政水和废水消耗减少装置 | 市政水和废水消耗减少装置 | 市政水和废水消耗减少装置 |
G5 是一种燃烧式废气处理系统,能够高效处理制造过程中使用的各种气体。 可以一次处理多种气体,并且可以高效处理通常难以处理的 PFC 气体。 通过我们的副产品对策和根据要处理的气体类型和数量按需(可变燃料供应)作来降低运行成本。 它非常适合用于半导体、液晶面板、太阳能电池和 LED 等电子元件的制造、化学和材料制造商以及各种实验室。 还提供*流量为 1,200 L/min 的大流量型。
北崎8年,日本会社20年,专注领域如下:
仪器相关:
山高SANKO(代理)、东机产业TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、东日技研DIT(代理)、杉山电机SUGIYAMA(代理)、爱安德AND(厂家合作)、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA(代理)
备件设备相关:
柴田SIBATA(代理)、 壶坂TSUBOSAKA(代理)、雅马拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口电热SAKAGUCHI(代理)、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(厂家合作)、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关:
岩崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰写速CCS(代理)、莱宝克斯REVOX(代理)、索莱克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制:
SIEMENS西门子(厂家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON欧姆龙(厂家合作)、基恩士KEYENCE(厂家合作)