北崎国际贸易（北京）有限公司

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HORIBA掘场VG-200S电容压力计隔膜真空计北崎供应

2025/02/12 11:57:14

HORIBA掘场VG-200S电容压力计隔膜真空计北崎供应

HORIBA掘场VG-200S电容压力计隔膜真空计北崎供应

在线压力测量是许多行业不可或缺的技术，包括半导体、平板显示器、光伏板、硬盘和涂层。电容压力计通过与对面电极的电容测量由隔膜两侧（称为隔膜）之间的压力差引起的位移量，并将其转换为压力。与其他压力测量方法相比，电容压力计具有以下特点：

*压力测量
高精度和*的稳定性
测量不受气体类型的影响

HORIBA 的 VG-200S 电容压力计是*小的自温控真空计。的电极结构实现了高精度和高稳定性。

业务领域：半导体

产品类别：干法工艺控制

制造商： HORIBA STEC， Co.， Ltd.

自控型和*小级
的电极结构实现了高精度和高稳定性
SUS316L用于气体接触部分，包括隔膜。
不加热，55°C温控，可选择100°C温控
一推零
电源 ±15 VDC， 24 VDC
符合 CE、RoHS 标准

型	VG-211S 系列		VG-221S 系列
F.S. 测量范围	133.32帕斯（A）	1.3332 kPa （A） 13.332 kPa （A） 133.32 kPa （A）	133.32帕斯（A）	1.3332 kPa （A） 13.332 kPa （A） 133.32 kPa （A）
传感器的温度控制 *1	室温（无加热器）		55°C / 100°C
精度 *2	0.5% R.S.	0.25% R.S.	0.5% R.S.	0.25% R.S.
分辨率	0.03% F.S.	0.01% F.S.	0.03% F.S.	0.01% F.S.
零温度系数	0.01% F.S./°C	0.005% F.S./°C	0.005% 满量程 /°C	0.0025% 满量程 /°C
跨度温度系数	0.05% 读数/°C	0.03% 读数/°C	0.03% 读数/°C	0.02% 读数 /°C
响应时间	< 60 毫秒
工作温度范围 *3	10-50°C
气体接触材料	SUS316L
加压极限	300kPA （A）	350kPa （A）	300kPa （A）	350kPa （A）
输出信号	0-10VDC 负载电阻：>10kΩ
输入/输出连接器	D-Sub 15 针
电源电压	+15VDC±5%、* 0.1A -15VDC±5%、* 0.1A		+15VDC±5%，* 0.6A。 -15VDC±5%，* 0.6A。
	24VDC±5%，* 2.4W		24VDC±5%，* 22W
预热时间	15 分钟		60 分钟（55°C 温控型） 120 分钟（100°C 温控型）
集电极开路输出	额定电压：30V 额定电流：50mA
重新归零输入	无电压触点输入触点开路电压：13V *触点电流：1.3mA
标准配件 *4	KF16， 1/2 英寸 VCR 母头， ICF34， 1/4 英寸 VCR 母头

可滚动

*1 请在订购时温度控制类型和温度。
*2 包括线性度、滞后性和重现性。（环境温度为 25°C 时）
*3 如果产品周围有热源，或者多个产品非常接近，则环境温度可能会过规定的环境温度。
*4 请在订购时配件。

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