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北崎供应EBARA 荏原 RJ-XA 低温冷却器
2025/03/13 08:51:53
北崎供应EBARA 荏原 RJ-XA 低温冷却器
北崎供应EBARA 荏原 RJ-XA 低温冷却器
型号 RJ-XA
用于符合全球环境法规的半导体制造设备的低 GWP 制冷剂冷却器
体积小，功率大
水冷
内置泵
低 GWP 制冷剂 R513A （GWP=629）
CE 标志/SEMI/NRTL
减少占地面积
节能
不需要铜和黄铜材料（可选）
产品介绍
该用于半导体制造设备的冷水机组使用符合全球环境法规的低 GWP* 制冷剂 （R513A）。 通过逆变器控制可以降低功耗。
作为可选规格，它还提供不使用铜或黄铜材料作为接液部件的规格，从而降低了腐蚀风险。
规范
| 型 | RJ-XA1V 系列 | |||
| 冷却能力 （50Hz/60Hz） | 千瓦 | 3.7 （10°C 时） 6.1 （20°C 时） | ||
| 温度控制范围 | °C | 5~40 | ||
| 温度控制精度 | °C | ± 0.1 | ||
| 尺寸（宽 x 深 x 高） | 毫米 | 375 x 1050 x 1150 | ||
| 质量 | 公斤 | 160 （不包括循环液和冷却水） | ||
| 循环液 | 使用的流体 | 纯水、*等 | ||
| 压力进料泵容量 | 升/分钟 | 20 （0.49MPa） | ||
| 冷却水 | 温度范围 | °C | 10~25 | |
| 安全标准 | SEMI（S2. S8. F47）、CE、NRTL | |||
| 权力 | V | 三相 200~208 | ||
| 运行控制方法 | 变频器控制方法 | |||
| 使用的制冷剂 | R513A（全球变暖值：629） | |||
北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、 壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）
