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HORIBA掘场CS-900 非接触式化学品浓度监测器北崎国际
2025/02/12 14:03:01
HORIBA掘场CS-900 非接触式化学品浓度监测器北崎国际
HORIBA掘场CS-900 非接触式化学品浓度监测器北崎国际
这是一款非接触式化学品浓度监测器,可测量半导体制造过程中使用的化学品,例如清洁和蚀刻。
通过不接触管道中流动的化学液体进行测量,可以安全、稳定地监测浓度,而不会发生化学泄漏或污染。
产品名称 | 非接触式化学品浓度监测仪 CS-900 | ||||
---|---|---|---|---|---|
型 | CS-900 型 | ||||
测量原理 | 吸收光谱 | ||||
浓度计算方法 | 温度补偿多变量分析方法 | ||||
测量范围和 再现性系统 (单位:质量%) |
型号名称 | 成分名称 | 测量范围 | 重复精度 | 模拟输出范围 |
CS-900-1P-1P25P5 系列 | 新罕布什尔州3 | 0.00%-1.20% | ±0.05% | 0.00-10.00 | |
H2O2 | 0.00%-5.50% | ±0.10% | 0.00-10.00 | ||
H2O | 93.3%-100.0% | ±1.0% | - | ||
CS-900-1P-P8P8 | 新罕布什尔州3 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | |
H2O2 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | ||
H2O | 98.4%-99.6% | ±0.3% | - | ||
测量条件 |
1) 测量周期:约 3 秒 2) 移动平均:16 次 |
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管道※1 | 1“ 或 3/4” PFA 管道 | ||||
样品液体条件※2 |
化学温度:20~80°C 化学 温度变化、环境温度变化±1°C(1小时)以内 输入 压力:0.2MPa(G)以下 压力变化:0.02MPa以下 |
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权力 | DC24V 直流 | ||||
功耗※3 | 约 30W | ||||
质量 |
显示:约 0.9Kg 传感器 单元:约 2.9Kg |
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尺寸(宽×深×高) |
指示器:96×135×96 mm 传感器单元※4尺寸:238×140×146 毫米 |
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传感器单元安装角度 | 前后方向:±3 度以内,左右方向:0~90 度 | ||||
光源寿命 | 5 年 | ||||
通信协调 | 并行 I/O、RS-232C、模拟输出 |
※1不允许使用防静电型。
※2如果样品液体不流动,则由于气泡的影响,可能无法正确测量。
※3不包括启动期间的瞬态电流。
※4不包括突起。