HORIBA掘场IR-300气体浓度监测仪北崎供应

HORIBA掘场IR-300气体浓度监测仪北崎供应

HORIBA掘场IR-300气体浓度监测仪北崎供应

• 实时监测 响应速度和可重复性，可跟踪
  气体浓度的变化
• 多条校准曲线（可选）
  *多可安装 3 种类型的测量气体/满量程浓度（= 校准曲线）。
• 多显示器功能 为了在现场查看
  浓度监测和供应线信息，它配备了一个多显示器，该显示器结合了主机顶部的多显示器和模式 LED。
• 通信功能 支持
  DeviceNet 通信和数字/模拟信号对应的通信方法
• 紧凑且简单的设计 两侧之间的
  尺寸 124毫米 紧凑的设计，对安装位置没有限制。

 

IR-300 使用高亮度、长寿命的光源和更快的电信号处理来提高响应速度和可重复性。 这使得在气体浓度变化后进行连续在线监测成为可能。
* 为了稳定监测，建议在测量前进行零点校准（1 次/天或更多）。

MOCVD 材料测量示例

■ 测量流程

监测进料浓度的变化 以下是通过使用
背压调节器调节起泡器中的压力来实时监测进料浓度变化的示例。

 

气体浓度监测仪

用于鼓泡供应管线的在线气体浓度监测器。 用于稳定供应材料气体。

MOCVD（金属有机气相沉积）广泛用于 LED 制造工艺和光学器件制造工艺。 MOCVD 系统使用液/固材料，通常通过鼓泡以汽化气体的形式供应到腔室中。 实时气体浓度监测对于在该材料气体供应管线中实现稳定的沉积过程非常重要。 IR-300 系列气体浓度监测仪已安装在 MOCVD 设备的物料气体供应管线上，可实现在线高速气体浓度监测。 它支持材料气体的稳定供应。

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