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什么是小型真空泵

2024/11/21 11:13:15

小型真空泵是一种将密闭容器中的空气排出，使容器内部产生真空的小型泵。

对于小型真空泵，抽速通常在 200 l/min 左右，极限压力在 0.1 Pa 至 10 Pa 左右。此外，它还用作低真空泵以获得高真空环境，常用于各种可以在低真空下操作的分析仪器和理化仪器。

有油回转泵、干泵、隔膜泵等多种类型，可根据原理和使用条件进行选择。

小型真空泵的应用
小型真空泵用于要求真空度在0.1Pa左右甚至更高真空环境的分析仪器和实验设备。例如，小型真空泵非常适合需要真空环境的电子显微镜、X射线分析、质谱仪、气相色谱仪等。

另外，在半导体制造的情况下，需要真空环境来使用溅射、真空蒸发、CVD（化学气相沉积）等形成薄膜。另外，小型真空泵在食品加工中用于真空包装和真空包装。

小型真空泵原理
小型真空泵按抽气方式、压力范围、是否用油等分类。

1、排气方式
真空泵按抽气方式分为气体输送式真空泵和气体储存式真空泵。气体输送真空泵将空气从进气侧输送到排气侧。

另外，储气罐式真空泵是一种将要排出的空气储存在泵中，并使用另一个真空泵排出积聚的空气的系统。

2、压力区
用单个真空泵不可能涵盖从大气压到高真空的所有情况。通常，除了用于高真空的主泵外，还使用辅助泵或低真空泵。

3.干/湿
真空泵有两种类型：不使用油的干式真空泵和使用油的湿式真空泵。使用油的泵产生的真空场包含泵本身产生的油蒸气和水蒸气。

干式真空泵在需要精细控制的半导体制造工艺中尤其必要。干法也用于不耐油的食品和药品的生产。

小型真空泵的类型
1、油旋片真空泵
在各种真空泵中，由于排量、极限压力、价格等原因，油旋片真空泵使用*多。这种类型根据泵的类型而有多种类型，称为旋转式。

油的作用是润滑轴承并改善气缸内部的密封性。旋片式油回转真空泵有多种类型，如旋片式、凸轮式、摆动活塞式等。能够轻松获得0.1Pa左右中真空的泵。

旋片式油回转真空泵
旋片式油回转真空泵的结构是，在内筒中内置的转子上安装有叶片。当转子旋转时，由叶片划分的小室中的气体被排出，导致压力降低。

凸轮式油回转
真空泵在安装在圆柱形定子中心的偏心转子的一部分与定子接触的同时旋转。定转子间隙中的气体被排出，压力降低。

摆动活塞式油回转真空泵
在摆动活塞式中，活塞由于偏心转子的旋转而上下运动。气缸内的空气被活塞压缩并排出，压力降低。

2.干泵
干泵是一种清洁、非接触式真空泵，不使用油或液体。根据泵的类型，有多种类型。

罗茨型干式真空泵
这是一种使用罗茨型转子的泵。由于不需要冷却水，非常方便。

涡旋式干式真空泵
这种结构是通过涡旋件的旋转，从外向内压缩和排出空气，形成真空状态。其结构紧凑，具有高真空、低振动、低噪音、节能等优点。

爪式干式真空泵
两个爪形爪转子通过相反方向旋转产生真空。

隔膜式干真空泵
称为泵轴的活塞的往复运动使隔膜上下移动，吸入和排出空气。

其他
类型包括旋转叶片式和摆动活塞式。这是一种结构与油回转泵类似的真空泵。

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