北崎供应EBARA 荏原 G6 A1-A4 燃烧式废气处理器

2025/03/13 10:16:15

G6 系列

*流量为 1,200 L/min 的大流量燃烧废气处理系统

燃烧废气处理系统

能够处理大流量

多种气体的批处理

PFC 气体的高效处理

副产品对策和粉末自动卸料功能

运行成本低

根据气体类型和体积按需运行

提高可维护性

产品介绍

G6 型是一种燃烧式废气处理系统，能够高效、大容量地处理制造过程中使用的各种气体。它允许的进气量约为传统型号的 3 倍，还可以处理高发热的大流量氢气。根据要处理的气体的类型和数量，通过按需（可变燃料供应量）运行功能降低了运行成本，并通过大容量副产品捕集器等副产品措施降低了高流量气体处理时的维护成本和负荷。它非常适合用于半导体、液晶面板、太阳能电池和 LED 等电子元件的制造、化学和材料制造商以及各种实验室。

规范

型	单位	G6 A1~A4	G6 P1~P4
加工方法		燃烧 + 湿式	燃烧 + 湿式
*进气量	升/分钟	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
燃料		城市燃气	丙烷气
大小	宽 x 深 x 高 mm	1,200 x 1,900 x 2,300	1,200 x 1,900 x 2,300
可处理气体示例		工艺（仓库）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。一般清洗气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。一般蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。	工艺（仓库）气体 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。一般清洗气体 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。一般蚀刻气体 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。
标准设备		高流量 NF3 处理燃烧器	高流量 NF3 处理燃烧器

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）
备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN
光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE
电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）

丽江无功补偿控制器WDB-1原理...

天水HZKB601