原装进口EBARA 荏原 CMP设备 F-REX

2025/03/13 08:57:13

型号 F-REX

高利用率、高吞吐量、高生产率的 CMP 设备

干进/干出

*的工艺性能

高吞吐量

正常运行时间长

多级化学清洗

抛光终点检测监视器（可选）

在线膜厚测量仪（可选）

功能多样，设备配置灵活

兼容 SEMI-S2/CE 标志

产品介绍

F-REX 型是一种安装在洁净室上的 CMP 系统，可对晶圆表面进行化学和机械抛光。它具有经过市场验证的高可靠性和*的工艺性能，可以以多种方式进行配置以满足所需的规格。双模块化设计，工艺腔室之间没有相互污染。即使一个模块停止，也可以自动切换到与另一个模块一起运行，并且在发生维护或故障时无需停止设备，从而实现高生产率。此外，双模块系统可通过单个单元实现多流程处理。我们不仅为大规模生产提供*设备配置，还为实验开发应用提供*设备配置。

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）

备件设备相关：
柴田SIBATA(代理）、壶坂TSUBOSAKA（代理）、雅马拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口电热SAKAGUCHI（代理）、冈崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（厂家合作）、山本镀金YAMAMOTO、驰卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、东机理化EYELA、科库森KOKUSAN

光源相关：
岩崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰写速CCS（代理）、莱宝克斯REVOX（代理）、索莱克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龙FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、欧阿希ORC、赛纳SENA、英富丽INFLIDGE

电气控制：
SIEMENS西门子（厂家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON欧姆龙（厂家合作）、基恩士KEYENCE（厂家合作）

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