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HORIBA掘场IT-470F-H配备非接触式辐射测温仪北崎国际
2025/02/12 14:48:20
HORIBA掘场IT-470F-H配备非接触式辐射测温仪北崎国际
HORIBA掘场IT-470F-H配备非接触式辐射测温仪北崎国际
配备开发的高灵敏度热电堆传感器,这是通过汇集多年辐射温度计开发经验而实现的业界*水平的高精度设备安装辐射温度计。
在半导体和 FPD 制造等需要高精度温度测量的领域,它有助于提高工艺稳定性。
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高*精度:±0.1°C※和重现性 (2σ):0.1°C※实现
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在 150 mm 的测量距离上实现 Φ8 mm 的窄视场
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提供两种输出:高度通用的电流输出和不易受电磁感应噪声影响的光学数字输出。
* 这是在特定条件下使用时的实际值。
用
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基座位于真空室内时的温度测量示例 基座的温度测量可以通过
窗口从真空室外部测量。
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FPD 制造过程中液晶基板表面温度测量示例 由于是
非接触式测量,因此不会划伤被测物体的表面。
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抛光时的温度控制示例 由于是
非接触式测量,因此不会划伤被测物体的表面。
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注
* 为了*限度地发挥本产品的性能,我们将根据客户应用的详细信息(测量对象、安装环境等)召开会议和估算。 请随时与我们联系。
* 本页的 “行业*水平 ”的表示是基于我们在 2024 年的研究。
测量波长 | 8〜14微米 |
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测量温度范围 | -50〜200°C |
输出分辨率 | 光纤数字输出:0.1°C、电流输出:0.025% FS 或更低 |
测量精度※ (光纤数字输出) |
±4.0°C(目标温度 -50°C) ±0.8°C(目标温度 -20°C) ±0.6°C(目标温度 0°C) ±0.5°C(目标温度 23°C) ±0.4°C(目标温度 100°C)( 中点为线性插值,四舍五入至小数点后第二位) |
重复性 (光学数字输出) |
0.7°C(目标温度 -50°C) 0.5°C(目标温度 23°C) 0.5°C(目标温度 200°C)( 发射率 1.000,10 次测量,2σ) |
响应速度 (光纤数字输出) |
光纤数字输出:小于 1.4 秒(移动平均 1 秒,95% 响应) |
数据采样周期 | 0.1 秒 |
数据传输速率 | 光纤数字输出:0.2 秒,电流输出:0.1 秒 |
测量视场 | Φ8 mm 以下 / 距离 150 mm(入射光强度 90%) |
发射率设置 | 0.001-0.999 任意(出厂设置) |
工作温度和湿度范围 | 温度 0 至 55°C,相对湿度 35 至 85% RH(无冷凝) |
权力 | 直流 24V±5% |
功能 | 光学数字输出(JIS F05 型)、电流输出 4 至 20 mA(负载电阻 100 Ω、非绝缘)通过法兰调整光轴 |
外形尺寸 | 55×44×96mm 电源,带电流电缆(标准长度 2m) |
质量 | 300 克或更少 |
* 条件:环境温度 24 至 29°C(包括温度计安装部分的温度),湿度 55±20%,发射率校正设定 1.000,无干扰。
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