HORIBA掘场EV-140C等离子体排放监测器北崎国际

2025/02/12 13:51:11

这是发射光谱法的终点监测器，用于检测使用等离子体的半导体薄膜工艺中的终点或管理等离子体条件。
新开发的算法 “Rupture Intensity” 可以准确检测微弱信号变化的终点。
为了捕捉到发射光的微弱变化，灵敏度得到了极大的提高。
此外，通过提高抗噪性，确保 24 小时运行的生产线在恶劣环境中高度稳定运行。

制造商： HORIBA CORPORATION

业务领域：半导体

产品类别：干法工艺控制

制造商： HORIBA， Ltd.

使用孔径比为 F/2 的亮光栅
2048Ch 高灵敏度、高分辨率背照式 CCD 线传感器
用于高级过程控制 Sigma-P 的软件

对于希望演示的客户

我们将借给您一套 EV-140C，以匹配您的系统并安心采用它。
对于给您带来的不便，我们深表歉意，但请点击下面的图标并输入所需信息。
我们的工作人员将确认所需的日期和所需的系统。

传感器部分

分光镜
波长范围	200-800 纳米
光学分辨率	<2.0nm @λ=200-500nm <2.5nm @λ=500-700nm （FWHM 理论分解

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光学工作台
设计	平场像差校正多色仪
焦距	140 毫米
高阶光截止滤波器	内置

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探测器
CCD 型	薄型背照式 CCD 线阵图像传感器
元素数	2048 × 64
A/D 分辨率	16 位
曝光时间控制	20 毫秒至 2.5 秒（以 10 毫秒为步长设置）

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一般规格
测量光输入	光纤输入
传感器单元尺寸	137（宽）×156（高）×257（深）毫米
传感器质量	4.0 千克
连接的腔室数量	1通道
电源规格	直流24V±10%
功耗	12 伏安
工作环境温度	15-35°C
储存环境温度	0-50°C（无冷凝）
工作/储存湿度	<80%RH@25°C（非冷凝）
LCD 显示屏	执行状态/传感器错误/控制器错误
冷却风扇	DC 风扇

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I/O
◎ 模拟输出（根据配方实时输出计算结果） )
输出端口数	2 通道
电压输出	0-5VDC 直流
◎ 数字输入/输出（通过外部远程协议进行配方设置和端点输出）
数字输出	PIO/DI=8 位/DO=8 位
外部通用连接器	Dsub25S （并行 IO 端口，用于模拟输出）
控制器接口	Erthanet ×1 端口

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控制器（FA规格计算机）

大小	197（宽）×148（高）×250（深）毫米
操作系统	WindowsXP Embedded （英文版）
中央处理器	赛扬 1.3GHz
主要	1GB
硬盘	80GB
外部接口	- 以太网×2 - RS-232C×2
电源规格	AC90-264V 50/60±3Hz

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外部远程协议

远程协议	并行 I/O/RS232C 串行协议 *单独支持 LAN 连接

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合规标准	CE/FCC

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配件

光纤
光纤规格	合成石英纤维
外部纤维等级	VIS 用 / 紫外线用和耐光性（2 种类型可供选择）
纤维长度	2m/5m（2种可选）

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选项

交流电源装置
电源输入	AC90-264V 50/60±3Hz
功率输出	DC24V 2A 输出

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聚焦光学元件
腔室适配器	聚光镜单元

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PC 配件
PC 配件	LCD 显示器/键盘/鼠标

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PC 的电池选项
不间断电源	控制器 PC 的不间断电源

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