日本HORIBA堀场EC-5104 排气压力控制器北崎供应

2025/02/12 11:36:37

HORIBA堀场EC-5104 排气压力控制器北崎供应

排气压力控制器

它是一个排气压力控制器，不断将腔室的内部压力控制到任意值。高分辨率步进电机和结构的蝶阀实现了高速响应和高分辨率性能。

业务领域：半导体

产品类别：流体控制

制造商： HORIBA STEC， Co.， Ltd.

EC-5104 系列

框架尺寸	西北 40
气体接触材料	SUS-316L，氟橡胶 ®
电导率（真空范围）	0.4 〜 80 升/秒
100 mmH2O 时的出口流量（完全关闭）	20 升/分钟

可滚动

EC-5105 系列

框架尺寸	西北 50
气体接触材料	SUS-316L，氟橡胶 ®
电导率（真空范围）	0.6 〜 200 升/秒
100 mmH2O 时的出口流量（完全关闭）	25 升/分钟

可滚动

EC-5202 系列

框架尺寸	25mm 特氟龙®配件 1 英寸特氟龙®配件
气体接触材料	PTFE、PEEK、氟橡胶 ®
电导率（真空范围）	0.4 〜 80 升/秒
100 mmH2O 时的出口流量（完全关闭）	3 升/分钟

可滚动

北崎8年，日本会社20年，专注领域如下：
仪器相关：
山高SANKO（代理）、东机产业TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、东日技研DIT（代理）、杉山电机SUGIYAMA（代理）、爱安德AND(厂家合作）、饭岛电子IIJIMA、东丽TORAY、共和KYOWA、爱安德AND、豪雅HOYA（代理）

HKKW2-2000/4P/10...

SNP-9321