HORIBA堀场 晶圆背面压力控制器GR-511F北崎供应

HORIBA堀场 晶圆背面压力控制器GR-511F北崎供应

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晶圆背面压力控制系统

GR-511F 可对晶圆背面温度控制不可或缺的氦气和氩气等导热气体进行稳定且高精度的压力控制。 配备高速、高分辨率的压电阀和质量流量传感器，不仅可以准确稳定地控制微小压力，还可以测量流量。

这是一款配备数字控制电路的自动减压阀，该电路使用高精度压力传感器和高分辨率和快速响应的压电阀。 可通过各种外部信号远程控制，压力自动调节。
由于气体接触部分采用全金属，死体积*小，因此非常适合腐蚀性气体和低蒸气压气体。

• 即使在受瞬时波动影响的线路上也能实现稳定的压力控制。
• 简化的气体管路可显著降低死体积
• 鼓泡液体材料时任意设置容器中的压力
• 支持数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT 通信
• 使用 Tornado Flow 方式的高效汽化可在低温下实现稳定的汽化。 该型号非常适合作为半导体工艺中使用的“液体材料，例如高 k 材料”的稳定汽化系统。 用于载气控制的质量流量控制器和用于液体材料流量测量的质量流量计的设置完善了高效的汽化系统。
  

GR-511F 规格

尺寸 （单位： mm）

GR-511F 尺寸

• 使用经过验证的电容式压力传感器可在低压下实现的压力控制。
• 在压力控制期间对气体流量进行高精度监测。

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