日本HORIBA堀场SEC-Z500X数字质量流量控制器

2025/02/12 11:08:59

它是一款多功能型数字质量流量控制器，适用于各种行业和应用，具有从 10 SCCM 到 1000 SLM 的广泛流量控制范围，并可选择从数字到模拟、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 的通信方法。它还具有 ± 1.0% SP 的高精度、1 秒内的全范围高速响应以及多量程/多气体功能。

配备了允许用户更改气体类型和流量范围的功能。
± 1.0% S.P. 的高精度，满量程 1 秒内快速响应，5 SCCM 至 500 SLM 的宽范围。通信方式可从数字/模拟、DeviceNet™ 和 EtherCAT® 通信中选择。它是一种质量流量控制器，不仅适用于高级工艺，也适用于各种制造工艺。

通信方式	驱动电源	产品类型
数字通信・RS-485 F-Net 协议模拟通信・0~5VDC 直流	±15VDC（±5%）※	SEC-N102 系列
DeviceNet 设备网TM通信	ODVA 标准	SEC-N104 系列
CC-Link® 通信模拟通信・0~5VDC 0~10VDC ・4~20mA	24伏直流（13~32VDC）	SEC-N105 系列
Profibus 通信模拟通信・0~5VDC 0~10VDC ・4~20mA	Profibus 标准 24伏直流（13~32VDC）	SEC-N106 系列
EtherCAT® 通信	EtherCAT 标准 24VDC +/-4V	SEC-N107 系列

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