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日本原装ULVAC爱发科SH200-A 热阴极电离真空计
这是新系列的传感器式真空计“G-TRAN系列多离子真空计”,可以连接不同测量范围的探头。本产品为BA型电离真空计,可测量高真空。在继承了宽范围压力测量和低运行成本的传统理念的同时,我们进行了改进,使其更加人性化。
特征
可连接不同测量范围的探头:多离子计允许根据应用选择探头。
紧凑:明显小于传统产品(控制器体积减少 56%),世界*小级别
提高可用性:可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等
产品阵容丰富:除了模拟输出规格(SH200-A)和串行通信规格(SH200-R)外,还将增加EtherCAT规格(SH200-E)。
灯丝寿命通知功能:通过监控灯丝功率,可以提前通知灯丝寿命。
压力测量范围广:可测量从大气压到高真空区域(1×10 +5~ 5×10 -8 Pa)(连接选购件SWU10-R时)
的大气压力测量:可以检查腔室开口的大气压力(当连接可选单元 SAU 时)
目的
用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制。
用于检查直列式、单晶圆式等具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力。
用于高真空和高真空设备中的压力测量
以下基本都是我们代理,
1. 日本ATIEC,韩国普拉瑞---主要做强光灯
2. 日本SEN---主要做UV笔式灯
3. 日本东机产业---主要做粘度计
4. 日本TOPCON---主要做亮度计
5. 日本坂口电热---主要做耐热线,热电对
6. 日本NEWKON---主要做针孔打印机
7. 日本CCS---主要做光源箱、平面光源、环形光源
8. 日本SERIC---主要做人工太阳照明灯
9. 日本NS---主要做精密泵
10. 日本KOKUSAN---主要做离心机
11. 日本SANKO---主要做膜厚仪、金属探测仪
12. 日本NIKKATO---主要做坩埚、耐磨球
13. 日本共和---主要做应变仪、应变片、传感器
14. 日本SONIC---超声波风速仪、超声波液体流量计、超声波气体流量计
15. 日本EYELA---旋转蒸发仪
16. 日本船越龙---表面检查灯
17. 日本USHIO---照度计、UV汞灯
18. 其他优势---日本三丰、OMRON、武藏、NSK、SMC、三菱等