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山东省如何快速实现高效过滤器检漏部门-持正检测
山东省如何快速实现高效过滤器检漏部门--持正检测 三、DOP法:这种方法曾经是国际上测试高效过滤器海绵常用的方法。它的测试尘源为0.3微米单分散相邻苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴,也称为“热DOP”,“量”为含DOP空气的浑浊程度。将DOP液体加热成蒸汽,蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴,去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒,进入风道,通过测量过滤器前后气样的浊度,并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。
高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验检测(如DOP试验等),并提供合格证(含性能试验结果)对于5级(100级)以上洁净室用高效过滤器、高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体的性能检测。同时也要为确认高效过滤器的正确安装状态进行泄漏试验。而在大规模集成电路生产的洁净技术中(如0.1μm,1级),由于新风量往往仅是循环风量的百分之几,经过稀释上风侧也变成6级(1000级)的程度,因此,在这种情况下,就必须重新考虑采用DOP检漏试验。
如何快速实现高效过滤器检漏 检测方法:确定高效过滤器本身及其安装是否有明显的渗漏,必须在现场对以下几处进行测试:过滤器的滤材;过滤器的滤材与其框架内部的连接;过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间;支撑框架和墙壁或顶棚之间。它直接使用空气而不需要压缩气体作为动力。使用的气溶胶光度计为PM-350型光度计,动态测量范围为0mg/ m3~120mg/m3。
高效过滤器在安装前,不允许用手撕毁或打开包装袋或包装膜,应严格按照高效过滤器包装箱上标注的方向标准存放空气过滤器;在高效空气过滤器的搬运过程中,应轻拿、轻放,避免剧烈的振动和碰撞。
2)油雾法OilMist:原西德,原苏联,和采用过该办法。 尘源为油雾。“量”为含油雾空气的浊度。仪器为浊度计。以气样的浊度差异来断定过滤器对油雾颗粒的过滤效率。 油雾法在德国外乡曾经成为历史。仅有少量**单位仍然运用油雾法,由于原苏联帮搞过滤器时运用的是油雾法。 相关规范:我国有GB6165-85。
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