AALBORG气体质量流量计

供应AALBORG气体质量流量计   产品特点：高、响应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备量计数器   典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺。   设计特点：   －刚性金属结构   －流程范围从0开始到10sccm直到0到1000slpm   －*大压力500psig（34.5Bar）   －泄漏率1＊10-7氦气   －NIST系统可追踪的证明   －可倾斜的LCD读表   －0-5Vdc或4-20mA信号输出   －电路保护   －可用作便携式的设备   －0到**比例显示   －可配备流量计算机   精度：±1.5％满量程，包括59℉到77℉的气体温度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的压力。可选±1％满量程（精度），在给定的温度与压力值条件下。   重复性：±0.5％满量程   回应时间：实际流速±2％过满量程25-**一般2秒   温度系数：0.15％满量程／℃   压力系数：0.01％满量程／psi（0.07bar）   气体／周围温度：32℉-122℉（5℃-50℃）   输出信号：0-5Vdc，**1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路电阻   传感器输出：＋12Vdc；*大200Ω。＋24Vdc可选   时间恒量：800ms