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首页 >北崎国际贸易（北京）有限公司> 技术文章> 用于半导体制造设备日本EnergysTF-21D201氧气分析仪北崎有售
用于半导体制造设备日本EnergysTF-21D201氧气分析仪北崎有售
2025/01/18 16:13:39
TF-21D201/SH-30 系列
TF-21型 センサ ／ DTF-201型 受信器
SH-304型
センサ、受信器の分離可能
軽量、コンパクト 装置への組込み可能
低濃度（0-10ppmレンジ対応）
TF-21型 センサ ／ DTF-201型 受信器
SH-304型
用 途
半導体製造装置：拡散炉・RTP・各種N2炉内雰囲気測定、空気分離装置
仕 様
| 形 式 | TF-21D201（TF-21型センサ＋DTF-201型受信器） | |
|---|---|---|
| センサ | TF-21 | |
| 受信器 | DTF-201 | |
| 測定原理 | ジルコニア濃淡電池方式 | |
| 測定レンジ | Min.0-10ppm ～ MAX.0-100％ ゼロ点固定で任意の4レンジ選択可能 | |
| 校 正 | エア点 ＋ MAX.4点校正可能 | |
| 出 力 | DC4～20mA × 1点（非絶縁出力、負荷抵抗600Ω以下） DC0～1V or DC0～5V or DC0～10V × 1点選択（非絶縁出力） | |
| サンプルガス・ 校正ガス流量 | 0.5±0.02L/min. | |
| 精 度 | 繰返し性 | ±1％FS（0～1％レンジ未満） ±0.5％FS（0～1％レンジ以上） |
| 直線性 | ±1％FS（0～1%以上）±2％FS（0～1％未満） ±3％FS（0～100ppm未満） | |
| 応答時間 | 0-1％以上：10秒以下 0-1％未満：30秒以下 ※校正ガス切替による90％応答 | |
| ドリフト | ±2％FS/週 以下 | |
| 供給電源 | AC85～132V ※オプション：AC170～264V、DC24V±10％ | |
| 接点入力 （無電圧接点入力） | レンジ切替入力 | |
| 触点输出 （集电极开路输出，25 VDC，* 50 mA NO/NC 可切换） | 分析仪 异常 范围 回声 回声（2 个量程识别） 范围 回声回声（3 个量程识别） READY 浓度上限 警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 浓度下 限警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） * 可从上述选项中选择 4 个点，并可以更改设置。 | |
| 范围切换 | 本地范围切换 / 远程范围切换 / 自动范围切换 * 可以从以上选择和更改 | |
| 输出 HOLD 设置 | 无 或 任意 值或 HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * 预热、传感器和接收器异常时 HOLD | |
| 浓度上限和下限警报 | 上限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
| RS232C 通讯功能 | 传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值 通信电缆规格：直线电缆 | |
| 形式 | SH-304 型 | |
|---|---|---|
| 传感器 | TF-21 系列 | |
| 接收器 | DTF-201 系列 | |
| 测量原理 | 氧化锆灯罩电池工法 | |
| 测量范围 | 0-10 / 100 / 1,000ppm， 0-* **小 0-10ppm ~ * 0-* 零点固定，可任意 4 个范围 | |
| 校对 | 空气点 + MAX.4 点校准 | |
| 强度 | DC4~20mA × 1点（非隔离输出，负载电阻600Ω以下） DC0~1V × 1点（非隔离输出） | |
| 样气 / 校准气体流速 | 0.3±0.05 升/分钟 | |
| 准确性 | 重复性 | ±1%FS （小于 0~1% 范围） ±0.5%FS （高于 0~1% 范围） |
| 线性 | ±3%FS （小于 0~100ppm） ±2%FS （小于 0~1%） ±4%FS （0~1% 或更高） | |
| 响应时间 | 0-1% 或更高：10 秒或更短 0-1% 或更短：30 秒或更短 * 校准气体切换时响应 90% | |
| 漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
| 电源 | 直流24V±10% | |
| 输入 （非电压触点输入） | 范围切换输入 | |
| 触点输出 （集电极开路输出，25 VDC，* 50 mA NO/NC 可切换） | 分析仪异常 READY 浓度上限警报 （0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 浓度 下限警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 范围 回声（2 个范围识别） 范围回显（3 范围识别） * 前 4 项是标准项，后 2 项也可以更改。 | |
| 范围切换 | 自动量程切换 * 也可以选择远程范围和本地范围切换，并且可以更改设置。 | |
| 输出 HOLD 设置 | HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * HOLD * 传感器和接收器异常时保持 * 无 HOLD，任何值都可以选择 HOLD。 | |
| 浓度上限和下限警报 | 上限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
| RS232C 通讯功能 | 传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值 通信电缆规格：直线电缆 | |
TF-30/SH-20 系列
TF-30 传感器 / DTF-201 接收器
SH-204-AW 系列
可分离的传感器和接收器
重量轻、结构紧凑 可集成到设备中
标准气体，无需参考空气（可进行 1 点空气校准）
TF-30 传感器 / DTF-201 接收器
型号 SH-204-CW
用法
回流炉
铁氧体烧成炉
其他气氛控制和燃烧管理应用
规格
| 形式 | TF-30D201 （TF-30 传感器 + DTF-201 接收器） | |
|---|---|---|
| 传感器 | TF-30 系列 | |
| 接收器 | DTF-201 系列 | |
| 测量原理 | 氧化锆 2 单元泵系统 | |
| 测量范围 | *小 0-100ppm ~ * 0-25% 零点固定，可选择 4 个量程 *25%Ø2 或更高无法测量。 | |
| 校对 | 带校准气体的空气点 + * 3 点校准 空气 1 点校准（0-1,000 ppm 或更高） 通过 DATA 输入校准 （0-1,000 ppm 或更高，更换传感器时） | |
| 强度 | DC4~20mA × 1 点（非隔离输出，负载电阻 600Ω 以下） DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 点选择（非隔离输出） | |
| 样气 / 校准气体流速 | 0.5±0.1 升/分钟 | |
| 准确性 | 重复性 | ±1%FS |
| 线性 | ±2%FS | |
| 响应时间 | 0-1,000 ppm 或更高：30 秒或更短 0-1,000 ppm：60 秒或更短 * 校准气体切换时响应 90% | |
| 漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
| 电源 | AC85~132V *选项：AC170~264V，DC24V±10% | |
| 输入 （非电压触点输入） | 范围切换输入 | |
| 触点输出 （集电极开路输出，25 VDC，* 50 mA NO/NC 可切换） | 分析仪 异常 范围 回声 回声（2 个量程识别） 范围 回声回声（3 个量程识别） READY 浓度上限 警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 浓度下 限警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） * 可从上述选项中选择 4 个点，并可以更改设置。 | |
| 范围切换 | 本地范围切换 / 远程范围切换 / 自动范围切换 * 可以从以上选择和更改 | |
| 输出 HOLD 设置 | 无 或 任意 值或 HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * 预热、传感器和接收器异常时 HOLD | |
| 浓度上限和下限警报 | 上限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
| RS232C 通讯功能 | 传输测量状态、错误代码、测量范围和测量值 通信电缆规格：直线电缆 | |
| 形式 | SH-204-CW 型 | |
|---|---|---|
| 传感器 | TF-30 系列 | |
| 接收器 | DTF-201 系列 | |
| 测量原理 | 氧化锆 2 单元泵系统 | |
| 测量方法 | 喷射抽吸型（也可提供内置泵的型号） | |
| 测量范围 | *小 0-100ppm ~ * 0-* 零点固定，可选择 4 个范围，*25%Ø2 或更高无法测量。 | |
| 校对 | 带校准气体的空气点 + * 3 点校准 空气 1 点校准（0-1,000 ppm 或更高） 通过 DATA 输入校准 （0-1,000 ppm 或更高，更换传感器时） | |
| 强度 | DC4~20mA × 1 点（非隔离输出，负载电阻 600Ω 以下） DC0~1V 或 DC0~5V 或 DC0~10V × 1 点选择（非隔离输出） | |
| 样气 / 校准气体流速 | 0.5±0.1 升/分钟 | |
| 准确性 | 重复性 | ±1%FS |
| 线性 | ±5%FS | |
| 响应时间 | 0-1,000 ppm 或更高：30 秒或更短 0-1,000 ppm：60 秒或更短 * 校准气体切换时响应 90% | |
| 漂移 | ±2%FS/周或更低 | |
| 电源 | AC100~240V±10% 50/60Hz | |
| 输入 （非电压触点输入） | 范围切换输入 | |
| 触点输出 （集电极开路输出，25 VDC，* 50 mA NO/NC 可切换） | 分析仪 异常 范围 回声 回声（2 个量程识别） 范围 回声回声（3 个量程识别） READY 浓度上限 警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） 浓度下 限警报（0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置） * 可从上述选项中选择 4 个点，并可以更改设置。 | |
| 范围切换 | 本地范围切换 / 远程范围切换 / 自动范围切换 * 可以从以上选择和更改 | |
| 输出 HOLD 设置 | 无 或 任意 值或 HOLD 在异常发生前 5 秒的值 * 预热、传感器和接收器异常时 HOLD | |
| 浓度上限和下限警报 | 上限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 下限警报：0.0~9990.0ppm 或 0.0~100.0% 可配置 | |
